Gebraucht OXFORD Plasmalab 100 Plus #9205766 zu verkaufen

OXFORD Plasmalab 100 Plus
ID: 9205766
Wafergröße: 6"
Weinlese: 1996
PECVD System, 6" 1996 vintage.
OXFORD Plasmalab 100 Plus ist eine hochmoderne Ätz- und Aschemaschine für den Einsatz in Labor- und Forschungseinrichtungen. Das System wurde für das präzise Ätzen und Aschen von Halbleitermaterialien, mikroelektronischen Bauelementen und MEMS-Bauelementen konzipiert. Es hat die Möglichkeit, eine breite Palette von Substraten wie Metall, Quarz, Silizium, Glas, Keramik und Polymere zu verarbeiten. Das Gerät nutzt eine kostengünstige HF-Stromversorgung, um in einer Vakuumkammer eine induktiv gekoppelte Quelle mit hoher Dichte und niedrigem Druck zu schaffen. Die ICP-Quelle dient dann zum Ätzen und Entfernen vorbestimmter Teile des Substratmaterials. Die große Flexibilität von Plasmalab 100 Plus ermöglicht es dem Anwender, den Ätz- und Ascheprozess auf Basis des Substrattyps und der gewünschten Spezifikationen anzupassen. Die Maschine verfügt über einen fortgeschrittenen Kapazitäts-Prozessregler, der mit mehreren Parametern wie Druck, Temperatur, Frequenz und Gasfluss ausgestattet ist. Die erweiterte Prozesssteuerung kann zur Feinabstimmung von Ätzparametern verwendet werden, um die gewünschten Ergebnisse zu erzielen. OXFORD Plasmalab 100 Plus verfügt über eine intuitive Benutzeroberfläche, mit der Benutzer die gewünschten Ätzparameter präzise auswählen und die automatische Bedienung des Prozesses ermöglichen können. Das Werkzeug beinhaltet auch eine Druckauslesung und einen digitalen Timer zur Benutzerfreundlichkeit. Das Asset verfügt über Nassätzfunktionen sowie eine Schnittstelle zur Steuerung mehrerer Ätzprozesse. Das Modell ist für eine einfache Wartung ausgelegt und hat ein langlebiges Edelstahldesign. Darüber hinaus verfügt die Anlage über ein hocheffizientes Staubfiltersystem zur Reduzierung von Partikeln und gefährlichen Abfällen in der Luft im Arbeitsumfeld. Plasmalab 100 Plus ist eine fortschrittliche und zuverlässige Ätz- und Ascheeinheit, die dem Anwender zuverlässige Ergebnisse liefert. Mit präzisen Bedienelementen und intuitiver Benutzeroberfläche eignet sich die Maschine ideal für Laborforschungs- und Entwicklungsanwendungen.
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