Gebraucht OXFORD Plasmalab 100 Plus #9274966 zu verkaufen

ID: 9274966
Wafergröße: 8"
Reactive Ion Etcher (RIE) system, 8".
OXFORD Plasmalab 100 Plus ist ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher für Präzision und Wiederholbarkeit in der modernen Halbleiterverarbeitung. Es verfügt über erweiterte Touchscreen interaktive Bedienung und eine vollständige Palette von Funktionen und Funktionen Optionen. Diese Maschine verfügt über eine Vielzahl von verschiedenen Prozessen einschließlich Oxidfräsen, Tiefätzen, Gülleätzen und schneller Entfernung von nativem Oxid. Es wurde entwickelt, um überlegene Ergebnisse mit allen Metallen von Titan bis Aluminium und Kupfer zu liefern. Plasmalab 100 Plus ist ein ideales Werkzeug für die Hochleistungspräzisionsfertigung von dünnen Filmoberflächen. Die Maschine wird von einer standardmäßigen 110V oder 220V Stromversorgung angetrieben und nutzt eine Gleichstromversorgung für maximale Kontrolle und Wiederholbarkeit von Plasmaprozessen. Es verfügt über eine große Arbeitsfläche - bis zu 110mmx110mm mit wiederholbarer Genauigkeit und Auflösung auf der z-Achse von 0,1 μ m. OXFORD Plasmalab 100 Plus ist für einen optimalen Druckbereich von 7-30mT konzipiert und verfügt über eine maximale Temperatur von 300 ° C. Die Frequenz des Plasmagenerators ist mit einer Spitzenleistung von bis zu 250W einstellbar. Plasmalab 100 Plus verfügt über eine einstellbare Stufe, die kleine Submikron-Probenverschiebungen erkennen kann und eine einfache Prozessoptimierung ermöglicht, indem mögliche Schäden an der Probe minimiert werden. Es verfügt auch über ein spezielles flaches Bühnenoberflächendesign, um eine mögliche Probenverzerrung durch Ätz- oder Ascheroperationen zu verhindern. Die Rückseite der Maschine ist mit einem Fangarmsystem ausgestattet, um ein einfaches Be- und Entladen von Proben und Substraten zu ermöglichen. OXFORD Plasmalab 100 Plus enthält eine Suite spezialisierter Software zur einfachen Steuerung der Maschinenfunktionen. Es verfügt über eine Bibliothek mit vorkonfigurierten Prozessen für die schnelle und einfache Einrichtung von Ätz- und Ascheoperationen. Die Software ermöglicht auch die individuelle Prozesseinrichtung und das Speichern und Abrufen einzelner Prozesse. Plasmalab 100 Plus ist für Labor- und Produktionszwecke konzipiert und liefert hervorragende Ergebnisse für eine Vielzahl von Ätz- und Aschevorgängen. Es verfügt über eine robuste Konstruktion mit einem kleinen Platzbedarf und Leichtbau für eine einfache Installation in Labor- oder Produktionsumgebungen. Das hochwertige Design und die fortschrittlichen Eigenschaften von OXFORD Plasmalab 100 Plus liefern herausragende Ergebnisse mit präziser Kontrolle und wiederholbarer Leistung.
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