Gebraucht OXFORD Plasmalab 133-ICP 380 #293797492 zu verkaufen

OXFORD Plasmalab 133-ICP 380 ist eine Plasmaätz-/Aschemaschine, die speziell für reaktive Ionenätz- (RIE), induktiv gekoppelte Plasmaätz- (ICP) und Ascheprozesse entwickelt wurde. Dieses vielseitige Plasmaätz-/Aschersystem bietet mit seinem fortschrittlichen ICP-Generator und der Gasfördereinheit eine präzise Prozesssteuerung. Es ist in der Lage, Ätz- und Aschetechniken in der Halbleiter, MEMS, Optoelektronik, Datenspeicherung, LCD und vielen anderen Branchen verwendet. OXFORD PLASMALAB 133 ICP380 enthält eine Standard RPC-150 Remote Plasma Chamber (RPC) zur präzisen Prozesssteuerung von Ätz- und Ascheranwendungen. Es ist mit einer Vielzahl von anpassbaren Funktionen wie automatischer Start und Stop, HF-Leistungssteuerung und einer automatischen Gasflussüberwachungsmaschine ausgestattet. Die RPC-150 ist mit einer 17 Liter Kapazität-Kopplungs-Netzwerk-Kammer ausgestattet, die eine hocheffiziente und gleichmäßige Ionisation des Gases nutzt, indem sie hochfrequente HF-Energie induktiv an den gewünschten Prozess koppelt. Dies hilft, konsistente Verarbeitungsergebnisse bei extrem niedrigen Ätz-/Ascheraten zu gewährleisten. PLASMALAB 133 ICP 380 ist zudem mit einem leistungsstarken ICP-Gaslieferwerkzeug ausgestattet. Es bietet fortschrittliche Funktionen wie Gaspaneele mit mehreren Kanälen, eine integrierte elektrische Sicherheitsverriegelung und 3D-Gasströmungssimulationen. Die Gaslieferanlage stellt sicher, dass das Modell unter optimalen Prozessbedingungen arbeitet und bietet überlegene Prozessleistung und Prozesskontrolle. Der Controller von OXFORD PLASMALAB 133 ICP 380 ist ein voll programmierbarer, grafischer Benutzeroberfläche (GUI) basierter Mikroprozessor. Dieser fortschrittliche Controller ermöglicht eine präzise Steuerung der Anlagen in allen Prozessstufen. Der Regler unterstützt eine Vielzahl von Systemparametern wie Kammerdruck, Substrattemperatur, Ascherate, Ätzrate, Leistung, Gasfluss und phasenmodulierten HF-Generator. Das Gerät unterstützt auch kundenspezifische Prozessrezepte, die für jede spezifische Anwendung entwickelt wurden. PLASMALAB 133 - ICP 380 ist eine zuverlässige und robuste Plasmaätz-/Ascheprozesskammermaschine. Es ist in der Lage, wiederholbare und qualitativ hochwertige Ergebnisse unabhängig von den Ätz- oder Ascheanwendungen zu liefern. Die benutzerdefinierten Prozessrezepte des Tools machen es für verschiedene Arten von Anwendungen in den Bereichen Halbleiter, Optoelektronik, MEMS und viele andere gut geeignet. Plasmalab 133-ICP 380 ist ein ideales Ätz- und Aschegut, um hervorragende Prozesswiederholbarkeit und -genauigkeit für leistungsstarke Ergebnisse zu erzielen.