Gebraucht OXFORD Plasmalab 133-ICP 380 #293830096 zu verkaufen
URL erfolgreich kopiert!
Tippen Sie auf Zoom
ID: 293830096
Weinlese: 2010
Etcher
Quartz ring
SiC Platen
ALCATEL ADP 122 P Dry pump, 415 V, 6 A
ALCATEL ATH 1300M Turbomolecular pump, 34000 RPM
AMU Motor: P5224-DC018SR-G21-3475H
GEN750W DC Power: 100-240 V, 9.5 A, 50/60 Hz
ALCATEL ACP 40G Dry pump, 4800 RPM, 1013 mbar
Transfer chamber sensor and reflector
BAUMER FZAM18P1155 M18 Thread
ALCATEL ACT 1300M / 1600M Turbo pump controller:
Power supply: 100-120 V, 200-240 V, 50/60 Hz, 750 W
RF Power:
ADVANCED ENERGY Cesar 0230, 2 MHz, 3000 W
ADVANCED ENERGY RFG1251, 13.56 MHz, 1200 W
Vacuum gauge:
MKS 628F, Torr
PFEIFFER PKR251,15-30V, DC 2W
EDWARDS AIM-X-NW25, 1 Bar~600 mbar
EDWARDS APG-L-NW16, 10-3~4 mbar
(5) Mass Flow Controllers (MFC):
Gas / Size
Ar / 100 SCCM
O2 / 100 SCCM
SF6 / 100 SCCM
CF4 / 200 SCCM
CHF3 / 200 SCCM
2010 vintage.
OXFORD Plasmalab 133-ICP 380 ist ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher, der einen zuverlässigen und effizienten Betrieb bietet und somit eine ideale Wahl für anspruchsvolle Ätz-/Ascheanwendungen darstellt. Das Gerät verfügt über eine leistungsstarke induktiv gekoppelte Plasmaquelle (ICP), die schnelle, qualitativ hochwertige Ätz-/Ascheprozesse ermöglicht. Im Zentrum von OXFORD PLASMALAB 133 ICP380 steht eine leistungsstarke 13,56 MHz ICP-Quelle. Diese ist mit einer digitalen Echtzeit-Steuerung gekoppelt, die eine präzise Steuerung des Ätz-/Ascheprozesses ermöglicht. Die ICP-Quelle ist in der Lage, hohe Leistungsdichten von bis zu 65 W/cm2 mit hoher Prozesswiederholbarkeit zu liefern. Dies gewährleistet kurze Zykluszeiten und einen hohen Durchsatz unter Beibehaltung einer ausgezeichneten Ätz-/Aschequalität. PLASMALAB 133 ICP 380 verfügt über einen einstellbaren Arbeitsdruckbereich von 5 bis 20 mT mit einer maximalen Versorgungsspannung von 500V und einer maximalen Plasmaquellenleistung von 500 W. Dies ermöglicht eine präzise Steuerung des Ätz-/Ascheprozesses, wodurch überlegene Ergebnisse erzielt werden können. Das System verfügt außerdem über eine benutzerfreundliche Softwareschnittstelle, die eine einfache Konfiguration und Optimierung von Ätz-/Ashing-Parametern ermöglicht. PLASMALAB 133 - ICP 380 ist mit einer breiten Palette an Zubehör ausgestattet, darunter ein Quarzduschkopf mit integrierter Düse sowie eine integrierte Sicherheitseinheit zum Schutz der Plasmaquelle vor unbeabsichtigter Überlastung. Die Maschine verfügt auch über einen kleinen Platzbedarf, so dass sie leicht in die meisten vorhandenen experimentellen Setups integriert werden kann. OXFORD PLASMALAB 133 - ICP 380 ist eine ausgezeichnete Wahl für Ätz-/Farbaufgaben in Halbleiter-, MEMS und anderen Mikroherstellungsprozessen. Mit seiner präzisen Steuerung des Ätz-/Ascheprozesses, seiner ausgezeichneten Ätz-/Aschequalität und seiner hohen Effizienz bietet es ein hervorragendes Kosten-Nutzen-Verhältnis für Forscher und Branchen, die hohe Präzision und hohe Leistung fordern, ohne ihr Budget zu überschreiten.
Es liegen noch keine Bewertungen vor