Gebraucht OXFORD Plasmalab 80 Plus-M #293604357 zu verkaufen

ID: 293604357
Reactive Ion Etcher (RIE).
OXFORD Plasmalab 80 Plus-M ist eine Ätz-/Aschemaschine, die für die schnelle Erzeugung von feinen Linienätzen und Aschen in Niederdruckplasmaumgebungen entwickelt wurde. Das System ist eine vollautomatische und sehr vielseitige Einheit, die Substrate verschiedener Formen und Größen verarbeiten kann. Die Maschine besteht aus einer Vakuumkammer und einem Gasförderwerkzeug mit direkten Verbindungen zu mehreren Gasquellen, wodurch mehrere Prozessbedingungen eingehalten werden können. Plasmalab 80 Plus-M nutzt eine kapazitiv gekoppelte Plasmaquelle (CCP), die von einem Hochfrequenznetzteil gespeist wird, um den Ätz- und Ascheprozess zu ermöglichen. Eine Reihe von Gasen, einschließlich Sauerstoff, Stickstoff, Argon, Fluorkohlenwasserstoffe und Kohlenwasserstoffe können zusammen mit einer Reihe von Druck und Leistung verwendet werden, um hochauflösendes Ätzen und Aschen zu erleichtern. Die Anlage ist mit einem programmierbaren Plattenspieler ausgestattet, der das bequeme Laden und Bearbeiten mehrerer Substrate ermöglicht. Die Gleichmäßigkeit der Abscheidung wird durch eine symmetrische Abscheideabschirmung mit eingebettetem Arduino-Mikrocontroller zur präzisen Gasflussregelung erhöht. Die Energieausnutzung des Modells wird durch Spulenlöschtechnologie und schnelle Zykluszeiten maximiert, die so niedrig wie 30 ms sein können. Darüber hinaus ist das Gerät mit einem Überwachungssystem ausgestattet, um die Abscheidebedingungen, die Kammertemperatur und die Sauberkeit zu überwachen. OXFORD Plasmalab 80 Plus-M ist eine ideale Lösung für hohe Präzision, zuverlässige und wiederholbare Prozessergebnisse.
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