Gebraucht OXFORD Plasmalab 80 Plus #293607498 zu verkaufen

OXFORD Plasmalab 80 Plus ist ein Ätz- und Aschewerkzeug zur Vorbereitung von Proben zur Analyse. Es unterstützt sowohl Plasmaätz- als auch Ascheprozesse, um die Materialschichten mit hoher Präzision von der Probenoberfläche zu entfernen. Es kann die Ätz- und Ascheprozesse verschiedener Materialien wie Si, GaAs und InP unterstützen. Der Ätzer ist mit einer speziellen PlasmaEtch-Quelle ausgestattet, die optimierte Werte für die automatische Kompensation, Lastanpassung und andere leistungssteigernde Funktionen bietet, um eine gleichbleibend hohe Produktivität und Prozessqualität zu gewährleisten. Mit dem integrierten Wafer-Chuck-Design ermöglicht die PlasmaEtch Source eine effiziente Ausrichtung von Proben und eine schnelle Übertragung von Ätzgas und nanosekundengepulster Plasmaleistung. Das Wafer-Futterdesign bietet auch Unterstützung für verschiedene Probengrößen, bis zu acht Zoll Durchmesser. Der Ätzvorgang wird in einer Niederdruck-Hochtemperatur-Plasmakammer durchgeführt, die mit EMI-Filtern ausgestattet ist, um die Sauberkeit der Ätzumgebung zu erhalten. Die Kammer ist auch mit einem In-situ-Gaswäscher ausgestattet, um die Abgasrückgewinnung und Rückführbarkeit für eine maximale Ätzausbeute zu ermöglichen. Darüber hinaus verfügt die Kammer über einen automatisierten In-situ-Sensor zur genauen und wiederholbaren Prozesssteuerung. Der Ätzprozess wird durch ein fortschrittliches Sicherheitssystem ergänzt, das den Prozessstart solange untersagt, bis alle Sicherheitsparameter eingehalten sind. Der Aschevorgang setzt eine technologisch fortschrittliche „Single Ash Source“ ein. Es unterstützt sowohl TMAH-Asche und RCA-1 saubere Asche. Die „Single Ash Source“ bietet eine zusätzliche Kontrolle der Ätztemperaturen sowie die Stabilität des Ascheprozesses. Das System verfügt außerdem über einen integrierten Gaswäscher zur Temperaturrückgewinnung und Rückführung der Abgase bei Bedarf. Plasmalab 80 Plus verfügt zudem über eine intuitive Softwareschnittstelle, die eine effektive Prozesseinrichtung und -steuerung ermöglicht. Über die grafische Benutzeroberfläche können Prozessrezepte einfach erstellt, bearbeitet und überwacht sowie Prozessparameter in Echtzeit angepasst werden. Die Software ermöglicht auch eine komfortable Datenspeicherung und -export, um die gemeinsame Nutzung und Prozessoptimierung zu erleichtern. Insgesamt ist OXFORD Plasmalab 80 Plus ein ideales Werkzeug zur Durchführung von Ätz- und Ascheprozessen verschiedener Materialien. Seine ausgeklügelte Technologie und seine umfassende Software-Suite machen es zu einer idealen Wahl für die Probenvorbereitung in einer Vielzahl von fertigungs- und forschungsbezogenen Anwendungen.