Gebraucht OXFORD Plasmalab 80 Plus #293637518 zu verkaufen

OXFORD Plasmalab 80 Plus ist eine fortschrittliche Ätz- und Verarbeitungsausrüstung, die den Anforderungen einer Vielzahl fortschrittlicher Forschungs- und Entwicklungsanwendungen in der Halbleitertechnologie gerecht wird. Das System kombiniert eine hochpräzise Ätzstruktur mit hocheffizienten Hardware- und Software-Peripheriekomponenten und bietet Anwendern eine umfassende Prozessentwicklungsplattform. Plasmalab 80 Plus besteht aus einer Wirtseinheit, einer Prozesskammer und mehreren peripheren Komponenten. Die Host-Maschine besteht aus einem integrierten Plattformsteuerungstool und einer optimierten Planungslogik sowie mehreren fortschrittlichen Display-Tools und speziellen Subsystemen. Die Prozesskammer umfasst eine Vakuumkammer, eine Plasmaquelle und einen Duschkopf. Die Vakuumkammer ist mit einer Turbo-Molekularpumpe ausgestattet, so dass Benutzer absolute Drücke von bis zu 1 x 10-6 Torr erreichen können. Der Duschkopf ist ein multireferenzierender optisch gereinigter Quarz-Top-Porter, der eine vollständige Prozessrückverfolgbarkeit ermöglicht. Die Plasmaquelle ist eine fortschrittliche elektromagnetische Direktflussquelle, die zur Unterstützung des Features-Ätzens mit hohem Seitenverhältnis beiträgt. Darüber hinaus verfügt OXFORD Plasmalab 80 Plus über mehrere Peripheriekomponenten, darunter ein Rezept-Management-Asset, ein Muster-Management-Modell, eine Prozesssteuerungs- und Datenerfassungsausrüstung, ein manuelles Probenladesystem, eine Gas- und Chemikaliensteuerung, eine Probenausrichtungsmaschine, ein Resist-Folge- und -Imaging-Tool aging-Tool. Das Rezept-Management-Modell erleichtert die schnelle Entwicklung und Optimierung neuer Prozesse, ermöglicht die effiziente Verwaltung, Überwachung und Steuerung (oberhalb der Halbleiterbauelementproduktion, -prüfung und -messung) und erleichtert die Echtzeit-Prozessüberwachung und -sammlung. Die Probenverwaltungseinrichtung ermöglicht die automatisierte Sammlung und Reinigung von Wafern und Proben während des Ätzprozesses und hilft bei der Sammlung sauberer Wafer nach dem Ätzen. Plasmalab 80 Plus ist ein ausgeklügeltes Ätz-/Aschersystem, das in der Lage ist, optimierte Ätzprozesse und anspruchsvolle periphere anlagenbezogene Steuerungssysteme bereitzustellen und Forschern und Entwicklern eine umfassende, multifunktionale Plattform für Ätz- und Verarbeitungsanforderungen zu bieten.