Gebraucht OXFORD Plasmalab 80 Plus #293665218 zu verkaufen
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ID: 293665218
Reactive Ion Etcher (RIE) / Inductive Coupled Plasma (ICP) Etcher
Cl2
SF6
SiCl3
CHF3
O2/Ar
Chiller.
OXFORD Plasmalab 80 Plus ist eine Ätz-/Aschemaschine, die eine zuverlässige, wiederholbare und robuste Lösung für das Ätzen oder Aschen verschiedener Substrate und Materialien bietet. Plasmalab 80 Plus setzt eine Reihe von Präzisionsätzprozessen ein, darunter reaktives Ionenätzen (RIE), induktiv gekoppeltes Plasma (ICP) und plasmaverstärktes chemisches Aufdampfen (PECVD). Der Prozess kann auf verschiedene Weise programmiert werden, um optimale Ätzergebnisse zu gewährleisten. OXFORD Plasmalab 80 Plus wurde entwickelt, um verschiedene Prozesse in einer Vakuumkammer durchzuführen. Es ist in der Lage, Materialien bei einem weiten Temperaturbereich von umgebend bis 250 ° C zu ätzen und zu aschen. Mit einer hochgenauen Stromversorgung von 0 bis 1000 Watt kann das System mit DC-Anwendungen und verschiedenen Wellenformen für eine Reihe von Ätzprozessen mit unterschiedlichen Chemien programmiert werden. Plasmalab 80 Plus ist mit einer automatischen Probentransfereinheit und Probenstufen ausgestattet, um Wafer leicht zu transportieren. Es verfügt auch über Software, die es dem Benutzer ermöglicht, den Ätzprozess zu steuern und die Gleichmäßigkeit während des gesamten Ätzzyklus aufrechtzuerhalten. Darüber hinaus werden besondere Vorkehrungen für Gefahrstoffe und Chemikalien getroffen, die eine sichere Umgebung bieten. Die Maschine verfügt über eine Reihe von Sicherheitsfunktionen zum vollständigen Schutz des Benutzers. Es umfasst mehrere Interlocks, Drucküberwachung, Sauerstoff- und Wassersensoren und Notabschaltungen. Darüber hinaus ist das Werkzeug so ausgelegt, dass während des gesamten Prozesses eine Verunreinigung der Kammer und der Teile minimiert wird. OXFORD Plasmalab 80 Plus ist die perfekte Lösung für Forschungsanwendungen und andere Anwendungen, die hochpräzise Konfigurationen von Ätz- oder Ascheoperationen erfordern. Seine Spitzentechnologien, kombiniert mit Wiederholbarkeit und Gleichmäßigkeit, machen es zur idealen Wahl für diejenigen, die zuverlässige Ätz- und Ascheprozesse suchen.
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