Gebraucht OXFORD Plasmalab 80 Plus #293668719 zu verkaufen

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OXFORD Plasmalab 80 Plus
Verkauft
ID: 293668719
PECVD System.
OXFORD Plasmalab 80 Plus ist ein hochmoderner Asher/Etcher, der für die Herstellung von Feinmetallmustern mit halbem Mikron für High-Tech-Anwendungen wie Wafer-Level-Verpackung, Leiterplattenherstellung und MEMS-Herstellung entwickelt wurde. Dieses Gerät verwendet zwei verschiedene Technologien - das reaktive Ionenätzen (RIE) und die plasmaverbesserte chemische Dampfabscheidung (PECVD) -, um gleichzeitig zu ätzen, abzuscheiden, zu ätzen und abzuscheiden. Die RIE-Technologie kann mit hoher Präzision geätzt werden, während das PECVD zum Abscheiden von Folien mit präziser Dicke verwendet wird. Plasmalab 80 Plus ist mit einer Dual-Ionen-Quelle ausgestattet, die ein ultrapräzises Ätzen unterschiedlichster Materialien ermöglicht. Dieser Ätzer ist auch mit einer High-Tech-motorisierten Bühne und einem temperaturangepassten Vakuum ausgestattet, was präzise, wiederholbare Ätz- und Abscheidungsergebnisse gewährleistet. OXFORD Plasmalab 80 Plus bietet eine Vielzahl von Prozessrezepten für verschiedene Ätz- und Ablagerungsaufgaben und ist mit einem Gasmischsystem sowie integrierter Software und Hardware zur Steuerung und Überwachung der Ätz- und Ablagerungsvorgänge ausgestattet. Plasmalab 80 Plus verfügt über eine ausgeklügelte Steuereinheit und kann bis zu einer maximalen Wafergröße von 200 mm verarbeiten. Der Ätzer ist einfach zu bedienen und ermöglicht eine schnelle Einrichtung und Änderung von Prozessen und Rezepten. Schließlich ist OXFORD Plasmalab 80 Plus ideal für Labore, die eine Ätz-/Abscheidemaschine benötigen, die komplexe und fortschrittliche Projekte übernehmen kann.
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