Gebraucht OXFORD Plasmalab 80 Plus #293697553 zu verkaufen

ID: 293697553
Wafergröße: 4"-6"
Weinlese: 1995
PECVD System, 4"-6" Deposition: SiO2, SiH4 at 300°C No burner gas abatement EDWARDS E2M80 Vacuum pump Mass Flow Controller (MFC) RF Generator PC Controller 1995 vintage.
OXFORD Plasmalab 80 Plus ist eine hochentwickelte Ätz-/Aschemaschine mit Plasmatechnologie für Präzisionsätz- und Ascheprozesse in der Halbleiterherstellung und in Forschungsanwendungen. Entwickelt von OXFORD Instruments, einem führenden Anbieter von High-Tech-Instrumenten für verschiedene Branchen, ist Plasmalab 80 Plus für seine überlegene Leistung, Zuverlässigkeit und Vielseitigkeit im Umgang mit einer breiten Palette von Materialien und Substraten bekannt. Im Zentrum des OXFORD Plasmalab 80 Plus Systems steht die fortschrittliche Plasmaquellentechnologie, die eine hochreaktive Plasmaumgebung erzeugt, die sich ideal für Ätz- und Ascheprozesse eignet. Das Gerät nutzt eine Kombination aus HF (Hochfrequenz) und Mikrowellenenergie, um eine kontrollierte Plasmaentladung zu erzeugen, die effizient Material von der Oberfläche von Substraten mit hoher Präzision und Gleichmäßigkeit zerlegt und entfernt. Die Plasmaquelle ist mit anspruchsvollen Impedanzanpassungs- und Tuningfunktionen ausgestattet, um stabile Plasmabedingungen zu erhalten und die Prozessleistung zu optimieren. Plasmalab 80 Plus verfügt über eine große Prozesskammer mit variabler Stromversorgung, die es Anwendern ermöglicht, die Plasmaenergiedichte und -verteilung an die spezifischen Prozessanforderungen anzupassen. Die Maschine bietet eine breite Palette von Gaseinspritzmöglichkeiten, darunter reaktive Gase wie Sauerstoff, Fluor und Chlor sowie inerte Gase wie Argon und Helium, wodurch eine Vielzahl von Ätz- und Ascheprozessen mit präziser Kontrolle über Ätzraten, Selektivität und Profileigenschaften durchgeführt werden können. In Bezug auf Substrathandhabung und Prozesssteuerung ist OXFORD Plasmalab 80 Plus mit einer vielseitigen Probenstufe ausgestattet, die verschiedene Größen und Arten von Substraten aufnehmen kann, einschließlich Wafer, Photomasken und Flachbildschirme. Das Tool ist für die automatisierte Bedienung mit intuitiven Software-Schnittstellen konzipiert, die es Anwendern ermöglichen, Prozessparameter in Echtzeit zu programmieren und zu überwachen, wodurch reproduzierbare und konsistente Ergebnisse über mehrere Verarbeitungsläufe hinweg gewährleistet sind. Sicherheit und Zuverlässigkeit sind entscheidende Überlegungen bei der Konstruktion von Plasmalab 80 Plus Asset, mit integrierten Funktionen wie Verriegelungsmechanismen, Gasflussüberwachung und Vakuumdrucksensoren, um einen sicheren und effizienten Betrieb zu gewährleisten. Das Modell ist auch mit fortschrittlichen Diagnosetools und Echtzeit-Überwachungsfunktionen ausgestattet, um Auffälligkeiten oder Abweichungen in den Prozessbedingungen zu erkennen und darauf zu reagieren, Ausfallzeiten zu minimieren und die Produktivität zu optimieren. Insgesamt ist OXFORD Plasmalab 80 Plus eine hochmoderne Ätz-/Aschemaschine, die den Höhepunkt der Plasmabearbeitungstechnologie für Halbleiterherstellung und Forschungsanwendungen darstellt. Mit seiner fortschrittlichen Plasmaquellentechnologie, flexiblen Prozesssteuerungsfunktionen und robustem Design bietet Plasmalab 80 Plus eine unübertroffene Leistung und Vielseitigkeit für Ätz- und Ascheprozesse und ist damit ein unverzichtbares Werkzeug für Forscher und Hersteller, die höchste Präzision und Qualität in der Geräteherstellung erreichen möchten.
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