Gebraucht OXFORD Plasmalab 80 Plus #293697553 zu verkaufen
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ID: 293697553
Wafergröße: 4"-6"
Weinlese: 1995
PECVD System, 4"-6"
Deposition: SiO2 Dep, SiH4 at 300°C
No burner gas abatement
EDWARDS E2M80 Vacuum pump
RF Generator
PC Controller
1995 vintage.
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