Gebraucht OXFORD Plasmalab 80 Plus #293698011 zu verkaufen

OXFORD Plasmalab 80 Plus ist eine hochentwickelte Ätz-/Aschemaschine, die für präzise und effiziente Plasmabearbeitung bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen und bei Forschungsanwendungen entwickelt wurde. Dieses System ist bekannt für seine Vielseitigkeit, Flexibilität und Zuverlässigkeit bei der Herstellung hochwertiger Ergebnisse in Plasmaätz-, Asche- und Oberflächenmodifizierungsprozessen. Plasmalab 80 Plus ist mit einer breiten Palette von Funktionen und Funktionen ausgestattet, die es für eine Vielzahl von Materialien und Anwendungen geeignet machen. Es ist in der Lage, Substrate verschiedener Größen und Materialien wie Silizium, Galliumarsenid, Glas und Keramik zu handhaben. Das Gerät bietet sowohl reaktive Ionenätzung (RIE) als auch induktiv gekoppelte Plasmaätzmodi (ICP), so dass Benutzer das am besten geeignete Verfahren für ihre spezifischen Bedürfnisse auswählen können. Eines der Hauptmerkmale von OXFORD Plasmalab 80 Plus ist die fortschrittliche Prozesssteuerung. Die Maschine ist mit einem leistungsstarken HF-Generator ausgestattet, der eine präzise Steuerung von Plasmaparametern wie Leistung, Druck und Gasdurchfluss ermöglicht. Auf diese Weise können Anwender Prozessbedingungen für maximale Ätz- oder Ascheeffizienz optimieren und gleichzeitig die Gleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit batchübergreifend gewährleisten. Plasmalab 80 Plus verfügt auch über ein vielseitiges Gashandhabungswerkzeug, das den Einsatz einer Vielzahl von Prozessgasen ermöglicht, unter anderem Sauerstoff, Fluor, Chlor und Argon. Dies ermöglicht es Benutzern, die Chemie des Plasmas anzupassen, um spezifische Ätz- oder Ascheergebnisse wie hohe Selektivität, anisotropes Ätzen oder isotrope Plasmareinigung zu erzielen. Neben der fortschrittlichen Prozesssteuerung und Gasabwicklung verfügt OXFORD Plasmalab 80 Plus über eine ausgeklügelte Endpunkterkennung, die eine Echtzeitüberwachung des Ätz- oder Ascheprozesses ermöglicht. Dieses Modell verwendet optische Emissionsspektroskopie (OES), um das Vorhandensein spezifischer chemischer Spezies im Plasma zu detektieren, so dass Benutzer den Endpunkt des Prozesses genau bestimmen und Überätzen oder Unterätzen vermeiden können. Plasmalab 80 Plus ist für einfache Bedienung und Wartung konzipiert, mit einer benutzerfreundlichen Oberfläche, die eine intuitive Bedienung der Geräte ermöglicht. Das System ist auch mit automatisierten Reinigungsroutinen und Diagnosewerkzeugen ausgestattet, die helfen, die langfristige Zuverlässigkeit und Leistung des Geräts zu gewährleisten. Insgesamt ist OXFORD Plasmalab 80 Plus eine hochmoderne Ätz-/Aschermaschine, die eine unübertroffene Vielseitigkeit, Präzision und Effizienz in der Plasmabearbeitung bietet. Ob für die Herstellung von Halbleiterbauelementen, Forschung oder andere Anwendungen, dieses Tool liefert sicher hochwertige Ergebnisse und erfüllt die anspruchsvollen Anforderungen moderner Plasmabearbeitungstechnologien.