Gebraucht OXFORD Plasmalab 80 Plus #293766036 zu verkaufen

OXFORD Plasmalab 80 Plus ist eine fortschrittliche Ätz-/Aschermaschine, die eine Vielzahl von Präzisionsätz-, Asche- und Entnahmefunktionen für eine breite Palette von Proben bietet. Die Ätz- und Aschefunktionen werden durch seine integrierte Impulsstromquelle angetrieben, die Impulse von bis zu 800V liefert, so dass das System eine Reihe von Glüh- und Ätztechniken ausführen kann. Darüber hinaus ist Plasmalab 80 Plus mit einer programmierbaren automatischen Probentransfereinheit und einem Roboter-Wafer-Handhabungsarm für ein effizientes Probenhandling ausgestattet. OXFORD Plasmalab 80 Plus verfügt über eine vielseitige Prozesskammer, die sowohl Batch- als auch Single-Wafer-Verarbeitungsfunktionen bietet. Die Prozesskammer kann bis zu 6 Wafer für die Chargenverarbeitung aufnehmen und verfügt außerdem über einen eingebauten Massenstromregler und eine einstellbare Fokusgasschnittstelle, die den Durchfluss von Prozessgasen und anderen gasförmigen Materialien in die Kammer regelt und wiederholbare und reproduzierbare Verarbeitungsergebnisse ermöglicht. Zusätzlich hält eine Stickstoffspülmaschine die Prozesskammer sauber und frei von Verunreinigungen, wodurch die Prozessintegrität gewährleistet ist. Neben den fortschrittlichen Ätz- und Glühfunktionen bietet Plasmalab 80 Plus auch fortschrittliche Entkeimungsprozesse. Die fortschrittlichen Descumming-Prozesse nutzen eine Kombination aus HF-Leistung, Reaktiv-Ionen-Ätzen (RIE) und Nass-Ätzen, um eine saubere geätzte Oberfläche zu erzeugen. Dieses Verfahren liefert überlegene Ätzgenauigkeit und gleichmäßige Metallschichtätzergebnisse. OXFORD Plasmalab 80 Plus ist in der Lage, eine breite Palette von Ätzrezepten auszuführen, die auf die spezifischen Ätzbedürfnisse einer bestimmten Anwendung zugeschnitten werden können. Eine intuitive Benutzeroberfläche ermöglicht eine einfache Rezeptprogrammierung und Datenprotokollierung von Ätzzyklusergebnissen als einfache Referenz. Schließlich machen die fortschrittlichen Sicherheitsfunktionen von Plasmalab 80 Plus es zu einem sicheren Ätzwerkzeug für den Einsatz in einem Labor oder in industriellen Umgebungen. Die Anlage verfügt über mehrere Sicherheitsmerkmale wie fortschrittliche Alarme, aktiven Überspannungsschutz, geerdete Abschirmung und Überspannungsschutz, die helfen, das Personal und das Modell vor potenziellen Gefahren im Zusammenhang mit dem Ätzprozess zu schützen. Abschließend ist OXFORD Plasmalab 80 Plus eine fortschrittliche Ätz-/Aschermaschine, die eine Vielzahl von Präzisionsätz-, Asche- und Entnahmefähigkeiten für eine breite Palette von Proben bietet. Das System ist mit fortschrittlichen Sicherheitsfunktionen gebaut und ermöglicht zuverlässiges Ätzen in Labor- und Industrieumgebungen. Mit seiner vielseitigen Prozesskammer und der intuitiven Benutzeroberfläche bietet Plasmalab 80 Plus wiederholbare und reproduzierbare Ätzergebnisse und bietet Platz für eine breite Palette von Ätzrezepten, die auf bestimmte Anwendungen zugeschnitten sind.