Gebraucht OXFORD Plasmalab 80 Plus #9226670 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9226670
Reactive Ion Etcher (RIE)
Gases: Helium and Oxygen
No gas box
Vacuum pump
Spare parts.
OXFORD Plasmalab 80 Plus ist eine anspruchsvolle Plasmaätzanlage für Rapid Prototyping und Kleinserienanwendung von Präzisionskomponenten. Plasmalab 80 Plus wurde für das genaue und wiederholbare Ätzen von Form und Schaltkreisen auf einer Reihe von Substratmaterialien entwickelt, einschließlich Metallen, Polymeren, Verbundstoffen und Dielektrika. OXFORD Plasmalab 80 Plus verfügt über eine Vakuumkammer, die den Ätzvorgang in einer unter Druck stehenden Umgebung ermöglicht. Es beinhaltet auch ein zweistufiges Turbopumpensystem mit einer Leistung von bis zu 1000 Litern pro Sekunde, was die besten Ätzergebnisse durch die Erzeugung des richtigen Druck- und Gasflusses während des Prozesses gewährleistet. Das Gerät verfügt über eine mehrstufige Gasfördermaschine mit vier separat steuerbaren Gasleitungen für eine konsistente und genaue Druckregelung, die ein präzises Ätzen von feinen Details ermöglicht. Dieses Tool enthält eine ladungsneutralisierte kathodische Schutzeinrichtung, die einen Ionenquelleninjektor verwendet, um eine sichere Ätzumgebung zu erhalten. Die Rückseite des Substrats ist Gegenvorspannungsmasse mit einer variablen Gleichspannungsversorgung, die eine Steuerung sowohl der Plasmaätzrate als auch der Ätztiefe ermöglicht. Plasmalab 80 Plus integriert das In-Process Monitoring und Control Modell von OXFORD Instruments für eine genaue und detaillierte Prozesssteuerung. Dieses Gerät ermöglicht eine automatische Stromregelung, Sputterabscheideraten, Kammerdruck und Plasmaüberwachung mit Überstromschutz. Das System verfügt außerdem über eine automatisierte Substratindexierung, die ein schnelles Be- und Entladen von Substraten mit einer automatisierten Etikettierungsfunktion ermöglicht. OXFORD Plasmalab 80 Plus ermöglicht zudem das berührungslose Be-/Entladen von Proben mit einer einfach zugänglichen Kassetteneinheit für die Bewegung von bis zu acht Substraten pro Kassette. Die Maschine bietet auch hochpräzise vertikale Feinstufenpositionierung und maximalen Verfahrbereich von 200mm x 200mm, ideal für die Steuerung der Feinmusterätzung. Kurz gesagt, Plasmalab 80 Plus ist eine hochentwickelte, multifunktionale Ätzplattform, die eine genaue und wiederholbare Ätzung empfindlicher Schaltkreise auf einer Reihe von Materialien ermöglicht. In Kombination mit seinen automatisierten bedienerfreundlichen Bedienelementen und Sicherheitsmerkmalen ist es eine ideale Lösung für zahlreiche Anwendungen auf Forschungs-, Prototyping- und Produktionsebene.
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