Gebraucht OXFORD Plasmalab 80 Plus #9260764 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9260764
Wafergröße: 6"
Weinlese: 1997
Reactive Ion Etcher (RIE), 6"
Gases: SF6, CHF3, Ar, O2, N2, H2
Cryogenic head
Capable of etching at 77K (LN2 Temperature)
Goes up to 50°C (323K)
(3) Gas mass controllers with valves
Backing pump
1997 vintage.
OXFORD Plasmalab 80 Plus ist ein fortgeschrittener reaktiver Ionenätzer (RIE), der in der Mikrofertigung elektronischer, optischer und biomedizinischer Geräte verwendet wird. Der Ätzer kombiniert High-End-Leistung, maximale Kompatibilität und Flexibilität sowie eine exzellente benutzerfreundliche Bedienung. Die fortschrittliche Ausstattung ist mit einer fortschrittlichen computergesteuerten Plattform, einem Doppelkammerdesign mit hohem Durchsatz und einem robusten, ergonomischen Vakuumsystem ausgestattet. Die RIE-Technologie der ersten Generation ist in der Lage, die genaue Ätzgenauigkeit einheitlich und wiederholbar zu liefern. Es verfügt über eine umfassende computergesteuerte Schnittstelle mit der Möglichkeit, mehrere gleichzeitige Prozesse hinzuzufügen. Seine Architektur mit hohem Durchsatz ermöglicht das schnelle Ätzen verschiedener Materialien wie Metalle, Glas und andere harte Materialien. Es bietet auch eine hervorragende Kompatibilität mit einer Vielzahl von verschiedenen Materialien, mit analogen und digitalen Plattformen zur Verfügung. Plasmalab 80 Plus bietet eine genaue Tiefenprofilierung mit einer wiederholbaren Genauigkeit von 1,5 cm und einer Auflösung von 0,2 cm. Seine Kammer ist zur vollständigen Entfernung aller Prozessrückstände bis zu 1,103 mbar reinigbar. Seine fortschrittliche Steuerungsmaschine ermöglicht eine präzise Kontrolle aller Parameter, einschließlich Rezepturauswahl, Substrattemperatur, HF-Leistung, HF-Frequenz, DC-Vorspannung, Vakuum, Durchflussrate und mehr. Sein Isolationsdesign sorgt für optimale Ionisationsbedingungen beim reaktiven Ionenätzen, bietet gleichmäßige Ätzraten und erhöhte Selektivität. Die manuelle Gasflussregelung ermöglicht die Feinabstimmung der Ätzraten und die Gleichmäßigkeit der Ergebnisse. Darüber hinaus verfügt das Tool über eine integrierte Load-Lock-Anlage, die eine sichere Materialhandhabung und automatisierte Prozesssteuerung während jedes Zyklus gewährleistet. OXFORD Plasmalab 80 Plus verfügt auch über eine breite Palette von Zubehör, wie Waferhalter, Beläge und zusätzliche Verarbeitungsgeräte. Dies ermöglicht ein individuelles Setup nach Kundenwunsch und macht es zu einer optimalen Wahl für eine Vielzahl von Anwendungen. Insgesamt ist Plasmalab 80 Plus ein fortschrittliches und zuverlässiges reaktives Ionenätzermodell, das ausgezeichnete Präzision und Wiederholbarkeit liefert und perfekte Ergebnisse in verschiedenen Anwendungen ermöglicht. Die Flexibilität und Kompatibilität der Geräte machen es zu einer idealen Wahl für jeden Mikrofabrikationsprozess.
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