Gebraucht OXFORD Plasmalab 80 Plus #9352269 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9352269
PECVD System
With THERMO NESLAB RTE-7 Chiller
MKS MFC's Flow rates range: 50 SCCM to 1 SLM
Deposition material: SiN/SiO2 and SiON
ALCATEL Pump
LAFERT Trolley
HONEYWELL Q Mate Power supply
HONEYWELL UDC3300 Power supply
Power: 90-250 VAC, 50/60 Hz, 18 VA
Gas / Flow rate
CF4+O2 / 200 SCCM
N2 / 1 SLM
SiH4 (2%) / N2 / 500 SCCM
NH3 / 50 SCCM
N2O / 1 SLM.
OXFORD Plasmalab 80 Plus ist ein fortschrittlicher Full-Feature-Ätzer/Ascher. Es wurde entwickelt, um genaue, wiederholbare Ergebnisse beim Ätzen und Aschen einer Vielzahl von Materialien zu liefern. Es verfügt über eine intuitive, benutzerfreundliche Oberfläche und fortschrittliche Software, die Ihnen volle Kontrolle über Parameter wie Leistung, Temperatur und Prozesszeit gibt. Das 80 Plus verfügt über mehrere Kammerkonfigurationen für unterschiedliche Prozesse und Materialien. Plasmalab 80 Plus verfügt über eine robuste und zuverlässige Ätz- und Ascheausrüstung. Es ist in der Lage, eine Vielzahl von Materialien zu verarbeiten, einschließlich Messing, Kupfer, Aluminium, Edelstahl und Leiterplatten. Der 80 Plus nutzt zwei unabhängige Vakuumsysteme - eines für die Ätz-/Aschekammer und eines für das Vakuumsystem. Dies gewährleistet maximale Prozessgenauigkeit und Wiederholbarkeit. Die Vakuumeinheit umfasst eine ölfreie Turbomolekularpumpe, eine mechanische Stützpumpe und eine VAR-Station (vakuumunterstütztes Nachpumpen), um ein stabiles Vakuumniveau aufrechtzuerhalten. Die Kammer ist mit Argon beaufschlagt und bietet einen Druckbereich von 10 mbar bis 500 mbar. OXFORD Plasmalab 80 Plus ist eine extrem genaue Ätz- und Aschemaschine. Die Betriebstemperatur reicht von 270 ° C bis 350 ° C, während der einstellbare Druck und das Vakuumniveau Ihnen die exakte Kontrolle über die Ätz- und Ascheprozesse geben. Der Laser mit variabler Leistung ermöglicht es Ihnen, die Ätztiefe sowie die Abscheiderate für unübertroffene Präzision zu steuern. Neben den fortschrittlichen Ätz- und Aschefunktionen bietet Ihnen Plasmalab 80 Plus auch anspruchsvolle Diagnosefunktionen. Die In-situ-Software des Tools überwacht alle Aspekte des Prozesses, einschließlich des Kammerdrucks, der Temperatur und des Vakuums sowie des Status der Hilfsmittel. Auf diese Weise können Sie Probleme identifizieren und beheben, bevor sie zu einem Problem werden. Mit seinen branchenführenden Eigenschaften und Genauigkeit ist OXFORD Plasmalab 80 Plus eine ausgezeichnete Wahl zum schnellen und zuverlässigen Ätzen und Aschen unterschiedlichster Materialien. Die fortschrittliche Software, das leistungsstarke Motormodell, die benutzerfreundliche Schnittstelle und die vielseitigen Kammerkonfigurationen machen es zu einer zuverlässigen Hochleistungsmaschine.
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