Gebraucht OXFORD Plasmalab 80 Plus #9384679 zu verkaufen
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ID: 9384679
PECVD System
PC
PLC Controller
ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER 2033C2 / R301B.
OXFORD Plasmalab 80 Plus ist ein hochmoderner Ätzer/Ascher, der eine hervorragende Kontrolle über kritische Ätz- und Ascheparameter bietet. Sein fortschrittliches Design gewährleistet eine präzise Ätz- und Aschesteuerung, um die Prozessgleichmäßigkeit und die Geräteerträge zu maximieren. Das Gerät ist mit einer präzise steuerbaren zirkularen Magnetronantenne ausgestattet, um wiederholbare Prozessparameter zu gewährleisten. Darüber hinaus verfügt es über ein Multi-Range-Netzteil, das eine sehr vorübergehende Reaktion auf Prozessparameter bietet und bei Bedarf schnelle Anpassungen ermöglicht. Plasmalab 80 Plus verfügt über ein modernes Vakuumkammerdesign, das den Korrosionsschutz maximiert, sowie eine Vielzahl von Wafertransportmechanismen, um effiziente konsistente Ätz- und Ascheprozesse zu ermöglichen. Es ist ferner mit mehreren Prozessüberwachungs- und Steuerungssystemen ausgestattet, einschließlich eines Gasdurchflussüberwachers, eines Druckreglers und eines Gasreinheitsanalysators, um konsistente und zuverlässige Ergebnisse zu gewährleisten. OXFORD Plasmalab 80 Plus bietet fortschrittliche Benutzeroberflächen, die die Bedienung vereinfachen und Bedienungsfehler minimieren. Die Steuerung liefert Feedback zu Prozessparametern in Echtzeit und ermöglicht zudem eine effiziente Datenerfassung und -analyse. Für komplexere Ätzvorgänge bietet Plasmalab 80 Plus mehrere Möglichkeiten. Ein Prozessgasmischsystem sorgt für eine effiziente Vermischung mehrerer Gase und ein automatisiertes Gaskalibriermodul minimiert die Prozessdrift im Laufe der Zeit. Ein integrierter Sauerstoffmonitor sorgt dafür, dass ein Inertgasprozess für kritische Anwendungen eingesetzt wird. OXFORD Plasmalab 80 Plus ist eine vielseitige und leistungsstarke Einheit, die in der Lage ist, eine hervorragende Prozessgleichmäßigkeit und Erträge für eine breite Palette von Ätz- und Ascheanwendungen zu bieten. Die erweiterten Steuerungssysteme und Benutzeroberflächen vereinfachen die Bedienung und bieten Feedback zu Prozessparametern in Echtzeit. Für komplexere Ätzanwendungen sorgen eine Prozessgasmischmaschine und ein automatisiertes Gaskalibriermodul für zuverlässige Ergebnisse und reduzieren die Prozessdrift im Laufe der Zeit.
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