Gebraucht OXFORD Plasmalab 80 Plus #9398272 zu verkaufen

OXFORD Plasmalab 80 Plus
ID: 9398272
Reactive Ion Etcher (RIE) / PECVD System.
OXFORD Plasmalab 80 Plus ist eine leistungsstarke integrierte Ätz-/Aschemaschine, die für Forschung und Bildungszwecke geeignet ist. Es ist in der Lage, präzise demonstrierte Probenverarbeitung für verschiedene Materialien, einschließlich Silizium und Polymere. Das komplette System umfasst die Basiseinheit, eine nach unten gerichtete Optik, eine nach oben gerichtete Optik und ein Gas-Handling-Gerät. Die Basiseinheit ist eine präzise konstruierte luftdichte Kammer, die in einen Rahmen mit Vorkehrungen für die elektrische Verdrahtung und eine Steuerungsmaschine eingebettet ist. Diese Kammer ist aus Edelstahl, eloxiertem Aluminium und verstärkten Acrylmaterialien aufgebaut und steuert die Temperatur Helium-Rückfüllung mit einem patentierten versiegelten Deckel-Design. Die vorgemischten Produktionsprozesse der Basiseinheit gewährleisten eine stabile Leistung und liefern homogene Ergebnisse. Die nach unten gerichtete Optik sorgt für eine gleichmäßige Ausleuchtung über der Substratoberfläche und die digitalen Lichtsäulen für ein hochauflösendes Abbildungswerkzeug. Die nach unten gerichtete Optik hat ein Sichtfeld, das sich bis zu 22,6 mm (1 Zoll) erstrecken kann. Es steht ein variabler Arbeitsabstandsbereich zur Verfügung (3,3-11,3 mm). Das optische Element wurde entwickelt, um die Beleuchtung der Probenoberfläche zu optimieren und die bestmögliche Leistung zu gewährleisten. Die aufstrebende Optik deckt einen Bereich von 0,1-400 Å ab und kann zur Überwachung von Ätzen und Mustern verwendet werden. Es bietet ein hochauflösendes Bildgebungsmodell mit einer Vergrößerung bis 1400X und ist mit einem hochmodernen Bildgebungs- und Mustererkennungsgerät ausgestattet. Das Gas-Handling-System von Plasmalab 80 Plus besteht aus einer Hauptsteuereinheit und fünf unabhängigen Massenstromreglern und Prozessventilen zur Steuerung der Gaszufuhr (Sauerstoff und Argon). Die Gasversorgungseinheit ist sowohl für chargenweise als auch für kontinuierliche Prozesse ausgelegt, die mit einer kompletten Prozesssteuerungssoftware überwacht und gesteuert werden können. Darüber hinaus ist der Controller in der Lage, Substrate und Materialien zu überwachen, Messtechnik und Strukturierung abzuscheiden. OXFORD Plasmalab 80 Plus ist ein fortschrittliches Werkzeug zur präzisen Bearbeitung und Strukturierung verschiedener Materialien und ideal für Bildungs- und Forschungszwecke. Die außergewöhnliche Leistung und Technik, die in die Maschine integriert sind, machen sie zu einer Top-Wahl für zuverlässige und präzise Ätz- und Ascheprozesse.
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