Gebraucht OXFORD Plasmalab 80 Plus #9409921 zu verkaufen
URL erfolgreich kopiert!
Tippen Sie auf Zoom
ID: 9409921
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2009
Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD) System, 8"
Diameter electrode: 460 mm, 4"-12"
Chamber uniformity: <2%
Silicon nitride and silicon dioxide layers
Top electrode, 18.75"
With shower head gas
Electronics and vacuum component
Mass flow controller
Wall mounted gas pod
(6) MFC Gas controllers
Gases: He, N2, N2O, NH3, 5% SIH4 / 95% N2, 80% CF4- 20% O2
PC Controller
Advanced graphics and process recipe pages
Vacuum pump and blower package
Power supply: 208 V, 18 A, 3Phase
2009 vintage.
OXFORD Plasmalab 80 Plus ist ein hochmoderner Ätzer/Ascher, der präzise und effiziente Leistung in einer Vielzahl von Handels- und Laborumgebungen bietet. Gebaut aus den neuesten Technologien und fortschrittlichen Prozessabläufen, baut es Schichten aus Metall und anderen Materialien in präzisen Dicken, schnell und präzise. Die Maschine basiert auf einer sorgfältig gestalteten Kammer- und Pumpeneinheit, die bis zu 55 Liter Argon bei 500 mbar abpumpen kann. Dies wird durch ein hochpräzises Softwarepaket gesteuert, das es Anwendern ermöglicht, den Ätz-/Ascheprozess genau zu überwachen und zu steuern. Die Kammer ist mit der neuesten Elektronenoptik ausgestattet, die den Ätz-/Ascheprozess effizienter und genauer ablaufen lässt. Es werden auch spezialisierte induktiv gekoppelte Plasmaquellen (ICP) installiert, die aus hochwertigsten Materialien gefertigt sind und eine erhöhte Leistungsabscheidung von bis zu 1000 W bieten. Mit diesen verbesserten Quellen und Optik ist Plasmalab 80 Plus in der Lage, innerhalb weniger Minuten hervorragende Ätz-/Ascheleistungen zu erzielen. Darüber hinaus können die Quellen das Ätzen/Aschen um 50% schneller als bisher durchführen. Zu den weiteren Komponenten dieses Ätzers/Aschers gehören eine Hochleistungs-Turbomolekularvakuumpumpe und ein schneller Massendurchflussregler (MFC). Die Vakuumpumpe kann während des Prozesses Spitzendrücke von 1,3 x 10 -5 Torr erreichen, während die MFC eine Hochgeschwindigkeitstemperaturregelung bietet. Eine separate Baugruppe wird verwendet, um den Ätz-/Ascheprozess zu optimieren, indem zusätzliche Hochleistungsquellen und erweiterte Prozesskontrolle bereitgestellt werden. Die hohe Genauigkeit von OXFORD Plasmalab 80 Plus zeichnet sich bei seinen Wettbewerbern aus. Es kann Ätz-/Ascheparameter bis zu einem Tausendstel Millimeter genau anpassen, so dass Benutzer sehr präzise Ergebnisse erzielen können. Die zuverlässige Leistung der Maschine sorgt auch für minimalen Abfall und Kosten, da sie konsequent konsistente und genaue Ergebnisse liefert. Insgesamt ist Plasmalab 80 Plus eine ideale Wahl für diejenigen, die präzises und effizientes Ätzen/Aschen für ihre Projekte benötigen. Dank seines fortschrittlichen Designs, zuverlässiger Leistung und hoher Genauigkeit ist es perfekt für kommerzielle und Laborumgebungen. Sein Preisschild mag steil erscheinen, aber die Maschine bietet eine ausgezeichnete Rendite.
Es liegen noch keine Bewertungen vor