Gebraucht OXFORD Plasmalab 80 Plus #9412407 zu verkaufen

OXFORD Plasmalab 80 Plus
ID: 9412407
PECVD System.
OXFORD Plasmalab 80 Plus ist eine innovative Ätz-/Aschemaschine, die von OXFORD Instruments entwickelt und entwickelt wurde. Es wurde entwickelt, um ein leistungsfähiges, ergonomisches und kosteneffizientes Werkzeug für eine Vielzahl von Anwendungen in der Halbleiter-, Nanotechnologie- und Mikrofabrikationsindustrie zu sein. Plasmalab 80 Plus verfügt über einen leistungsstarken Radiofrequenzgenerator (RF), der zuverlässige und wiederholbare Ergebnisse gewährleistet. Dieser Generator erzeugt eine einstellbare gepulste DC- oder HF-Leistung für hochpräzise Ätz-/Ascheoperationen. Mit diesem Hochleistungsgenerator kann OXFORD Plasmalab 80 Plus eine breite Palette von Materialien verarbeiten, darunter Nichtmetalle, Kunststoffe, Weichmetalle und andere Metalle. Sein variabler Arbeitstisch bietet Platz für bis zu vier Substrate auf einmal für eine effizientere Verarbeitung. Plasmalab 80 Plus verfügt auch über eine Kühlmittelausrüstung, die die Temperatur innerhalb der Kammer niedrig und die Oberfläche der Ätz-/Aschekammer kühl hält. Dieses Kühlmittelsystem reduziert die Verdunstung und erhöht die Prozeßwiederholbarkeit. Darüber hinaus bietet OXFORD Plasmalab 80 Plus einen ersten Sicherheitsansatz mit hochsicheren Verriegelungen, ESD-sicheren Verbindungen und RF-Käfig, die Benutzer und Betreiber schützen. Plasmalab 80 Plus wird mit der Bertech AutoEtch Unit angeboten, die die Auswahl von bis zu fünf Substraten per Knopfdruck aus der Ferne ermöglicht. Dadurch entfällt die Notwendigkeit, dass ein Bediener Substrate manuell auswählt und wechselt. Darüber hinaus bieten die integrierten Rezepte und Maschinenparameter Speicher Bibliothek erhöhte Prozeßwiederholbarkeit. OXFORD Plasmalab 80 Plus hat eine Vielzahl von Anwendungen in der Mikroelektronik und Mikromaschinentechnologie. Es kann für RIE Etch/Asche in der Entwicklung von Nanotechnologie und Elektronikgeräten verwendet werden. Es eignet sich auch für Naßätz- und Trockenätz-/Ascheprozesse. Darüber hinaus kann Plasmalab 80 Plus für plasmaunterstützte Abscheidung, Metalle und organische Varianten sowie andere Oberflächenbehandlungsprozesse eingesetzt werden. So ist OXFORD Plasmalab 80 Plus eine fortschrittliche Ätz-/Aschemaschine, ideal für eine Vielzahl von mikroelektronischen und nanotechnologischen Anforderungen. Die zuverlässigen und wiederholbaren Ergebnisse, das breite Materialspektrum und die benutzerfreundlichen Funktionen machen es zu einer guten Wahl für erfahrene und neue Anwender.
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