Gebraucht OXFORD Plasmalab 80 #293647911 zu verkaufen
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ID: 293647911
Reactive Ion Etcher (RIE)
Gases:
RIE Chamber: Ar, O2, SiCl4, H2, SF6, CF4
CVD Chamber: SiH4, N2O, NH3, SF6, N2.
OXFORD Plasmalab 80 ist eine zuverlässige Hochleistungs-Ätz-/Ascher-Vakuumausrüstung, ideal für eine Vielzahl von Laboranwendungen. Dieses System kann ein- oder mehrschichtige Proben auf einem oder zwei Substraten gleichzeitig ätzen oder aschen. Es bietet auch eine große Auswahl an Arbeitsgasen zur Auswahl, so dass Benutzer ihre Verarbeitungsbedingungen anpassen können, wie Ätz- oder Aschezeiten, Temperatur-, Energie- und Druckeinstellungen, um nur einige zu nennen. Plasmalab 80 verfügt über eine leicht zugängliche Prozesskammer und eine intuitive Touchscreen-Oberfläche für eine schnelle und effiziente Einrichtung. Die Kammer mit Abmessungen von ca. 200 mm tief x 400 mm breit x 150 mm hoch kann sowohl im Vakuum- als auch im Druckbetrieb sicher betrieben werden. Die Kammer hat auch eine oben montierte HF-Kathode und eine planare Induktionsspule, die eine optimale Verteilung der Ätz- und Ascheleistung ermöglicht. Die Kammer ist ferner mit einem Gaseinlaß, einem Gasauslaß und einem Vakuumventil ausgestattet, das für genaue Einstellungen individuell ansteuerbar ist. OXFORD Plasmalab 80 verfügt über ein hochauflösendes Farb-Touchscreen-Display für einfache Parametereinstellungen und eine intuitive Benutzeroberfläche. Diese Einheit unterstützt eine Vielzahl von Prozessbedingungen, von DC- oder HF-Planarätzen/-aschen über induktiv gekoppeltes Plasmaätzen oder Hochtemperaturglühen. Darüber hinaus ist Plasmalab 80 mit einer Langmuir-Sonde zur Diagnose und Temperaturregelung der Prozesskammer ausgestattet. OXFORD Plasmalab 80 ist eine hochgenaue Maschine, die voreingestellt werden kann, um den gleichen Ätz- und Ascheprozess zu wiederholen, so dass Benutzer wiederholbare Ergebnisse mit minimalem Input erzielen können. Darüber hinaus enthält das Tool eine Trägheitsgasreinigungsanlage zur Verringerung der Nanopartikelverschmutzung und eine erweiterbare Mustergeneratorsoftware zur einfachen Änderung von Mustern. Insgesamt ist Plasmalab 80 ein einfaches und zuverlässiges Ätz-/Ascher-Vakuum-Modell, das sich ideal für Aufgaben im Bereich Forschung und Entwicklung, Ätzen, Aschen und Glühen eignet. Es ist eine ausgezeichnete Wahl für Labore, die eine zuverlässige, leistungsstarke Ausrüstung suchen, die eine schnelle Verarbeitung und wiederholbare Ergebnisse ermöglicht.
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