Gebraucht OXFORD Plasmalab 800 #293830575 zu verkaufen

ID: 293830575
Weinlese: 2015
PECVD System Process chamber Gas/control enclosure Pumping package 2015 vintage.
OXFORD Plasmalab 800 ist ein fortschrittlicher Bordätzer und Ascher. Es beinhaltet eine integrierte hochauflösende Ionenstrahlquelle und eine eingebaute reaktive Gasförderausrüstung. Es wurde entwickelt, um Präzision und Genauigkeit in den Ätz- und Ascheprozessen zu bieten und ist somit ideal für eine Vielzahl von Anwendungen. Der Ätzer/Ascher hat eine hohe Abscheidungsätzrate von 5µm/min und kann bis zu 1200K Temps erreichen und gleichzeitig Selektivität, Wiederholbarkeit und Kantendefinition verbessern. Plasmalab 800 verfügt über eine breite Palette von Prozessgasen wie FF, SF, CF4, CHF3, CF2Cl, CF 2Br, C 2F 2Cl 2 und C 2F 2Br. Es hat auch eine Vielzahl von Druck- und Temperaturzyklen für eine Vielzahl von Substratchemie zur Verfügung. OXFORD Plasmalab 800 ist zudem mit einem Live-Überwachungssystem für seine Prozessparameter ausgestattet. Dazu gehören Gasstrom, Abscheiderate, Abscheidungsprozentsatz, Gaskonzentration, Druck und Temperatur. Es ermöglicht auch eine Fernüberwachung und kann mit einer lokalen Netzwerkverbindung verwendet werden oder direkt über das Internet zugegriffen werden. Die Einheit ist in sich geschlossen, einfach zu bedienen und zu warten. Es verfügt über eine intuitive grafische Benutzeroberfläche (GUI) sowie ein umfassendes Handbuch für die Betriebseinrichtung und Fehlerbehebung. Es kann 4 „- 8“ Substrate bis zu 3mm Dicke aufnehmen und erfordert nach dem Ätzen keine Reinigung. Plasmalab 800 ist ein hochmodernes Werkzeug zum präzisen Ätzen und Aschen. Die integrierte hochauflösende Ionenstrahl- und Gasfördermaschine macht sie ideal für eine Vielzahl von Mikrofabrikationsanwendungen. Es ist in der Lage, schnell und präzise Prozessschichten mit ausgezeichneter Wiederholbarkeit und Kantendefinition herzustellen. Das integrierte Fernüberwachungstool ermöglicht eine einfache Diagnose und Wartung. Zusammen machen diese Eigenschaften OXFORD Plasmalab 800 zu einem leistungsstarken und sehr wertvollen Werkzeug.
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