Gebraucht OXFORD Plasmalab 90 #293619113 zu verkaufen

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OXFORD Plasmalab 90
Verkauft
Hersteller
OXFORD
Modell
Plasmalab 90
ID: 293619113
Wafergröße: 3"-8"
Weinlese: 2001
PECVD System, 3"-8" With load lock Stack vacuum pumps: EDWARDS Booster EH500 EDWARDS Dry pump DP80 (6) Gases: SiH4: 50 sccm NH3: 50 sccm O2: 200 sccm N2O: SLPM C2F6: 500 sccm N2: 4 SLPM Process chamber: Heated chuck Temperature range: 700°C Electric heating Power: 3 kW 2001 vintage.
OXFORD Plasmalab 90 ist eine fortschrittliche Ätz- und Aschermaschine, die in einer Vielzahl von Industrien für Mikrofabrikationsprozesse eingesetzt wird. Dieses zuverlässige System ist weit verbreitet, um integrierte Schaltungen (ICs) und andere Komponenten für eine Reihe von Anwendungen einschließlich medizinischer Implantate, MEMS-Geräte und Photovoltaik zu schaffen. Zu den Hauptvorteilen dieser Einheit gehört die Fähigkeit, Metallschichten aus einem bestimmten Bereich von Dicken bis zu 30 µm genau und gleichmäßig zu ätzen, zu reinigen und abzuscheiden. Die Maschine Plasmalab 90 ist mit einem 9-achsigen beweglichen Roboterarm und einer Vakuumkammer ausgestattet, die es ermöglicht, mehrere Proben gleichzeitig zu ätzen und zu aschen. Es ist mit verschiedenen Quellen ausgestattet, zusammen mit 3 primären Quellen (E-Pistole, Ionenstrahl und Magnetron Sputter Geschütze). Jede dieser Quellen verfügt über einzigartige Fähigkeiten, die das Ätzen, Aschen und Abscheiden von Metall auf Nanometerebene ermöglichen. Darüber hinaus umfasst das Werkzeug auch einen In-situ-Gasmonitor, der die Gaskonzentrationen während der Verarbeitung genau messen kann. Diese Anlage ist auch mit einer RAM-Quelle (Reactive Atomic Mixing) ausgestattet, die verwendet wird, um Verunreinigungen in das Plasma einzuführen, um die Ätz- oder Reformierungseigenschaften zu verbessern. Es erzeugt einen stetigen Strom von Partikeln mit Hilfe eines elektrischen Lichtbogens mit Hilfe eines Magnetfeldes. Dies hilft, einen konstanten Strom von kollidierenden Ionen, Elektronen und anderen Partikeln zu schaffen, der den Ätzprozess verbessert. OXFORD Plasmalab 90 Modell ist auch mit einer integrierten Wärmebildkamera ausgestattet, die Temperaturschwankungen im Wafer überwachen hilft, um einen gleichmäßigeren Ätzprozess zu gewährleisten. Darüber hinaus ist das Gerät mit einem programmierbaren Logikregler (SPS) integriert, der durch die Regelung der Temperaturen im Reaktor eine erhöhte Betriebsstabilität bietet. Das System ist mit einer dreidimensionalen Detektionseinheit ausgestattet, die die genaue Position und Orientierung der Probe koordiniert. Diese neuartige Funktion hilft, Positionsfehler zu reduzieren und eine präzise Oberflächenbeobachtung von Probenätzen und Aschen zu ermöglichen. Schließlich ist die Maschine in ein Computer Aided Design (CAD) Softwarepaket integriert, das hilft, detaillierte 3D-Modelle des Ätz- und Ascherprozesses zu generieren. Die CAD-Software kann auch kalibriert werden, um den Prozess zu simulieren, bevor die eigentliche Fertigung beginnt. Insgesamt ist Plasmalab 90 ein zuverlässiges und fortschrittliches Ätz- und Ascherwerkzeug, das hilft, hochpräzise und einheitliche mikrofabrizierte Komponenten für eine Reihe von Anwendungen zu erstellen. Es ist mit einer breiten Palette von Funktionen entworfen, die es ermöglichen, effektiv zu ätzen, zu reinigen, und Abscheidung von Metallschichten zu genauen Spezifikationen. Diese Eigenschaften machen OXFORD Plasmalab 90 zu einer idealen Bereicherung für präzise gefertigte mikroelektronische Komponenten.
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