Gebraucht OXFORD Plasmalab DP-80 #293651901 zu verkaufen
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OXFORD Plasmalab DP 80 ist ein Ätzer/Ascher für die Herstellung hochwertiger, ultradünner Folien. Es ist eines der fortschrittlichsten heute verfügbaren Plasmaätz- und Abscheidungssysteme und wird für eine Vielzahl von Anwendungen verwendet, einschließlich der Verarbeitung von Halbleitermikroelektronik, Nanotechnologie, Datenspeichermedien und anderen Anwendungen, die Präzisionsschichten erfordern. Im Kern besteht Plasmalab DP 80 aus einer Prozesskammer mit einem computergesteuerten Vakuumwafer-Transfersystem, einer Ionenquelle und einem Mehrgaseinlass. Es wurde für den Betrieb im Niederdruck- (< 50 mTorr) oder Hochdruckvakuum (< 300 mTorr) entwickelt. Die gesamte Einheit ist außerdem mit einer trägheitstemperaturstabilisierten Plasmaquelle ausgestattet, die einen sehr gleichmäßigen, von der Waferbewegung unabhängigen Abscheide-/Ätzprozess ermöglicht. OXFORD Plasmalab DP 80 kommt auch mit einem voll programmierbaren Gassystem, so dass Benutzer ihre Prozesslösungen anpassen und ihre Folieneigenschaften optimieren können. Darüber hinaus enthält Plasmalab DP 80 eine speziell entwickelte Plasmaquelle, die sowohl positive als auch negative Ionen für Anwendungen wie Ionenstrahlerosion und Ionenimplantation liefert. Der DP 80 ist in der Lage, diskrete Merkmale auf Auflösungen von bis zu 25 Mikron zu mustern und ist so konzipiert, dass er mit jedem PECVD, Sputtern und Verdampfungsprozess kompatibel ist. Die Maschine ist auch so konzipiert, dass sie mit verschiedenen Abscheide- und Ätzverfahren wie Dielektrikum, Poly-Si, Kupfer, Kobalt, Silber, Aluminium und Titanätzmitteln kompatibel ist. OXFORD Plasmalab DP 80 kann in viele Labore und Anlagen integriert werden, und seine robuste Konstruktion und High-End-Komponenten machen es zu einer beliebten Wahl für Massenproduktionsprozesse. Die robuste Konstruktion und die High-End-Komponenten erlauben es beispielsweise, bis zu einem Druck von 98 Torr zu arbeiten und bieten eine automatische Kammerreinigung und Waferdrehung mit einer Wiederholfrequenz von besser als 1 Mikron. Insgesamt ist Plasmalab DP 80 ein vielseitiges und leistungsstarkes plasmachemisches Ätz- und Abscheidungssystem. Dies ist eine gute Wahl für verschiedene Branchen, die Präzisionsfilmschichten für ihre Produkte benötigen, und seine anpassbaren Eigenschaften und Betrieb machen es ideal für Massenproduktionen. Mit seiner fortschrittlichen Bedienung und Skalierbarkeit ist dies eine ausgezeichnete Wahl für alle, die einen industriellen Ätzer/Ascher benötigen.
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