Gebraucht OXFORD Plasmalab PRS900 #293640277 zu verkaufen

OXFORD Plasmalab PRS900 ist ein robuster, leistungsstarker Ätzer/Ascher, der Anwendern die Möglichkeit bietet, eine Vielzahl von Materialien präzise zu ätzen und zu aschen. Der Ätzer/Ascher ist ein multifunktionales Werkzeug, das in der Lage ist, eine Vielzahl von Materialien und Substraten zu ätzen, zu aschen und zu reinigen. Es weist sowohl eine Ätzkammer als auch eine Ascherkammer auf. Die Ätzkammer hat eine gerasterte Hochfrequenzquelle (RF) und eine Vakuumfähigkeit, die ein präzises, genaues Ätzen ermöglicht. Die Ascherkammer hat auch eine HF-Quelle, mit Gleich- und HF-Leistung für die Trimm-Asche. Der Ätzprozess wird in der PRS900 durch Einbringen eines Arbeitsgases und Substratmaterials in die Ätzkammer eingeleitet und dort der HF-Quelle ausgesetzt. Diese Funktion bewirkt, dass Materialabtragungsraten von den Parametern wie Substrattyp, Gasart, Gasdruck, Gasdurchflussrate und Substratätzbelichtungszeit abhängen. Die Ascherkammer verwendet eine Gleichstrom- und HF-Quelle, um die Proben auf die gewünschte Größe zu trimmen, wobei die Trimmform konzentrisch zur Ätzkammer ist. Das PRS900 verfügt außerdem über eine Prozesssteuerung mit geschlossenem Regelkreis, die Druck, Zeit und Temperatur nutzt, um die Ätz- und Ascheprozesse fein abzustimmen. Das PRS900 verfügt über eine Reihe von einzigartigen Eigenschaften wie eine abnehmbare Prozesskammer für flexible Rezepturprogrammierung, automatische Abkühlung, Systemschutz über Temperatur, Gasmassenstromberechnung, um reproduzierbare Ergebnisse zu gewährleisten, und eine HF-Anpassungsschaltung für optimierte Plasmaerzeugung. All diese Funktionen stellen sicher, dass der Ätzer/Ascher sowohl für Standard- als auch für kundenspezifische geätzte Profile bereit ist, die eine Vielzahl von Tiefen und Funktionsgrößen erreichen können. Plasmalab PRS900 ist ein vielseitiges Werkzeug für kleine und große Ätz- und Ascheprojekte. Es bietet eine Reihe von Funktionen für verbesserte Präzision und Genauigkeit, was bedeutet, dass Benutzer jetzt komplexe Ätz- und Ascheaufgaben mit Leichtigkeit ausführen können. Mit optimierter Plasmaerzeugung, reproduzierbaren Ergebnissen und flexibler Rezeptprogrammierung erleichtert die PRS900 das Ätzen und Aschen so einfach wie nie zuvor.