Gebraucht OXFORD PlasmaPro 100 Cobra 300 #293804644 zu verkaufen

OXFORD PlasmaPro 100 Cobra 300 ist eine hochmoderne Plasmaätz- und Aschemaschine, die für die präzise und effiziente Verarbeitung verschiedener Materialien in der Halbleiter-, MEM- (Micro-Electro-Mechanical Systems) und Nanotechnologie-Industrie entwickelt wurde. Dieses fortschrittliche Tool verfügt über modernste Technologie und innovative Funktionen, um eine hochleistungsfähige Plasmabearbeitung mit überlegener Prozesssteuerung und Wiederholbarkeit zu ermöglichen. PlasmaPro 100 Cobra 300 ist mit einer vielseitigen und hochkonfigurierbaren Prozesskammer ausgestattet, die eine breite Palette von Plasmaätz- und Ascheanwendungen ermöglicht. Das System verfügt über eine große Prozesskammer mit einer gleichmäßigen Plasmaverteilung und einer hochdichten Plasmaquelle, die ein gleichmäßiges Ätzen und Aschen über die gesamte Substratoberfläche ermöglicht. Dies sorgt für konsistente Prozessergebnisse und hohe Prozesswiederholbarkeit und ist somit ideal für die Herstellung von hochwertigen Geräten mit engen Spezifikationen. Eine der Hauptstärken des OXFORD PlasmaPro 100 Cobra 300 ist seine Flexibilität bei der Aufnahme einer Vielzahl von Prozessgasen und Chemien. Das Gerät ist in der Lage, sowohl isotrope als auch anisotrope Ätzprozesse zu handhaben, wodurch es für eine Vielzahl von Anwendungen geeignet ist, darunter Siliziumätzen, dielektrisches Ätzen, Resiststrippen und Oberflächenmodifizierung. Die Maschine unterstützt eine breite Palette von Prozessgasen, einschließlich fluorbasierter, chlorbasierter, sauerstoffbasierter und anderer Spezialgase, die eine genaue Kontrolle der Ätzselektivität, Ätzrate und Seitenwandprofile ermöglichen. PlasmaPro 100 Cobra 300 verfügt über eine fortschrittliche Plasmaquellentechnologie, einschließlich eines Hochleistungs-HF-Generators und eines einzigartigen Elektrodendesigns, um ein stabiles Plasma für eine effiziente und gleichmäßige Verarbeitung zu erzeugen und aufrechtzuerhalten. Das Tool bietet eine präzise Kontrolle über Plasmaparameter wie Gasflussraten, Druck, Leistungsstufen und Vorspannungen und ermöglicht eine Feinabstimmung der Prozessbedingungen für optimale Leistung. Dieses Regelungsniveau ist wesentlich, um eine hohe Selektivität, Gleichmäßigkeit und Reproduzierbarkeit bei Ätz- und Ascheprozessen zu erreichen. In Bezug auf Automatisierung und Steuerung ist der OXFORD PlasmaPro 100 Cobra 300 mit einer ausgeklügelten Softwareschnittstelle ausgestattet, die eine intuitive Prozessprogrammierung und -überwachung ermöglicht. Das Asset bietet rezeptbasierten Betrieb, so dass Anwender komplexe Prozessabläufe mit minimalem manuellen Eingriff einfach einrichten und ausführen können. Die Software bietet auch eine Echtzeit-Überwachung der wichtigsten Prozessparameter wie Druck, Temperatur, Gasströme und HF-Leistung, so dass Benutzer die Prozessbedingungen genau überwachen und anpassen können, um optimale Ergebnisse zu erzielen. PlasmaPro 100 Cobra 300 ist mit Blick auf Produktivität und Zuverlässigkeit konzipiert, mit robuster Konstruktion, hochwertigen Komponenten und fortschrittlichen Sicherheitsfunktionen, um einen ununterbrochenen Betrieb und Benutzersicherheit zu gewährleisten. Das Modell wurde für einen hohen Durchsatz und eine hohe Betriebszeit entwickelt, mit Funktionen wie schnelle Abpumpzeiten, schnelle Gasaustauschfunktionen und einfacher Wartungszugriff, um Ausfallzeiten zu minimieren und die Produktivität zu maximieren. Insgesamt ist OXFORD PlasmaPro 100 Cobra 300 eine vielseitige, leistungsstarke Plasmaätz- und Aschereinrichtung, die eine unübertroffene Prozesssteuerung, Flexibilität und Zuverlässigkeit für eine breite Palette von Halbleiter- und Nanotechnologieanwendungen bietet. Seine fortschrittliche Technologie und innovativen Eigenschaften machen es zu einem unverzichtbaren Werkzeug für Forschung und Entwicklung, Prototyping und Großserienfertigung in der Mikroelektronikindustrie.