Gebraucht OXFORD PlasmaPro 100 #293663573 zu verkaufen
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OXFORD PlasmaPro 100 ist ein Ätzer und Ascher für die Halbleiterforschung und die Entwicklung fortschrittlicher Materialien. Es bietet ein integriertes Endpunkterkennungssystem, das eine präzise Ätzendpunktsteuerung, eine einfache Übertragung von Daten auf externe Systeme und eine verbesserte Zuverlässigkeit ermöglicht. Diese ecther/asher ist mit einer breiten Palette von Funktionen ausgestattet, die höchste Prozesssicherheit und Qualitätsniveau fördern. Eines der wichtigsten Merkmale von PlasmaPro 100 ist seine Fähigkeit, eine Vielzahl von Materialien in einem einzigen Prozess genau zu ätzen und zu aschen. Dazu gehören Metalle, Oxide, Nitride und Polymere, die sowohl in plasmabasierten als auch in elektronischen Technologien verarbeitet werden können. Es bietet eine präzise Steuerung sowohl seitlicher als auch vertikaler Ätzprofile. Der Ätzer/Ascher besteht aus einer Ladeschloss-Prozesskammer und einem Vakuumsystem, einer Gasplatte und einer eigenen, oben montierten Plasmaquelle. Das Gaspanel wurde mit Kommunikationsfähigkeit zu externen Systemen sowie Druck- und Temperaturreglern entwickelt. OXFORD PlasmaPro 100 verfügt zudem über eine Hochleistungsquelle, die bis zu 100 Watt Leistung produzieren kann. Diese Stromquelle ist in der Lage, konstante Leistung und eine hohe Plasmagleichförmigkeit über das Substrat zu liefern, auch bei der Verarbeitung von Mehrschichtfolien. Dieser Ätzer/Ascher kann bis zu drei Zoll Substrate verarbeiten und ist in der Lage, eine Gesamtätztiefe von bis zu 30 µm zu erreichen. PlasmaPro 100 verfügt über zahlreiche zusätzliche Funktionen, um zuverlässige Prozesse zu gewährleisten. Es wurde für niedrige Betriebstemperaturen, hohe Prozessselektivität, minimale mechanische Schwingungen und einheitliche Ätzprofile konzipiert. Es hat auch eine hohe Durchsatzfähigkeit, mit Substratkassettenbelastung und Entladung und ist mit einer konfigurierbaren Prozessqualitätssicherung durch Überwachung der Kammern ausgestattet. Insgesamt ist OXFORD PlasmaPro 100 ein sehr vielseitiger, zuverlässiger und effizienter Ätzer und Ascher für die Entwicklung fortschrittlicher Materialien. Es ist in der Lage, eine breite Palette von Materialien zu verarbeiten, hat eine präzise Endpunktsteuerung und bietet einen hohen Durchsatz. Es verfügt auch über ein integriertes Endpunkterkennungssystem, Kommunikationsfähigkeit zu externen Systemen und konfigurierbare Prozessqualitätssicherungsfunktionen. Mit seinem robusten Design und der präzisen Steuerung bietet dieser ecther/asher eine ideale Lösung für fortschrittliches Materialätzen und -veraschen.
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