Gebraucht OXFORD PlasmaPro 100 #293752371 zu verkaufen

OXFORD PlasmaPro 100 ist ein industrieller Ätzer/Ascher, der speziell für Ätz- und Ascheprozesse in der Photolithographie, Maskenreparatur und mikroelektronischen Geräteherstellung entwickelt wurde. Es funktioniert, indem es HF-Energie mit einer oxidierenden und Ätzgasatmosphäre kombiniert, um ein Hochtemperaturplasma zu induzieren, das unerwünschtes Material von einem Substrat entfernt. Die Maschine ist in der Lage, sowohl das chemische Ätzen und physikalische Ätzen von Substraten als auch das Ätzen und Aschen von Folien zu steuern. Herzstück des PlasmaPro 100 ist sein fortschrittlicher HF-Generator, der ein Hochfrequenzsignal mit einer Reichweite von bis zu 20MHz erzeugt. Dies ermöglicht präzise und wiederholbare Ätz- und Ascheprozesse. Der Generator ist mit zwei unabhängig voneinander einstellbaren HF-Antennen verbunden, eine für den chemischen Ätzprozess und die andere für den physikalischen Ätzprozess. Alle diese Komponenten arbeiten zusammen, um dem Anwender eine hohe Kontrolle über die Ätz- und Ascheprozesse zu ermöglichen. Die Ätz-/Aschekammer des OXFORD PlasmaPro 100 kann zwei Substrate gleichzeitig aufnehmen und kann Temperaturen zwischen -25 und + 40 ° C erreichen, wodurch eine breite Palette von Materialien geätzt und adert werden kann. Die Kammer ist ferner mit einem Massenstromregler ausgestattet, um den Druck der Kammer und die Strömung der Ätz- und Aschegase genau zu steuern. Dies gewährleistet außerdem Prozesskonsistenz und Wiederholbarkeit. Sicherheit ist bei PlasmaPro 100 von größter Bedeutung und die Ätz-/Aschekammer ist mit Strömungs- und Drucksensoren ausgestattet, um die Atmosphäre in ihr aktiv zu überwachen. Außerdem ist eine Sicherheitsverriegelung vorhanden, um sicherzustellen, dass die Integrität der Kammer und schädliche Materialien nicht in den Arbeitsraum gelangen. OXFORD PlasmaPro 100 unterstützt mehrere Substratgrößen von 1 „x 1“ bis 8 „x 8“. Die Durchführungen für die HF-Kabel und Gasleitungen sind alle Standardgrößen und ermöglichen den direkten Anschluss an eine Vielzahl von Substraten. Die Maschine verfügt auch über elektrische Signalrückkopplung, um eine engere Prozesssteuerung zu ermöglichen, und eine hochauflösende Anzeige und eine intuitive Benutzeroberfläche machen die Bedienung der Maschine einfach. Insgesamt ist PlasmaPro 100 eine äußerst zuverlässige und benutzerfreundliche Ätz-/Aschemaschine. Sein fortschrittlicher HF-Generator, Dual-HF-Antennen, steuerbare kammergemäßigte und präzise gesteuerte HF-Parameter machen die Maschine für eine Vielzahl von Ätz- und Ascheprozessen gut geeignet.