Gebraucht OXFORD PlasmaPro 100 #293807691 zu verkaufen

OXFORD PlasmaPro 100
ID: 293807691
PECVD System.
OXFORD PlasmaPro 100 ist eine von OXFORD Instruments Plasma Technology entwickelte Hochleistungs-Plasmaätz- und Aschemaschine. Dieses fortschrittliche Tool wurde entwickelt, um die anspruchsvollen Anforderungen von Forschung und Entwicklung sowie Produktionsumgebungen in den Bereichen Halbleiter, MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems), Optoelektronik und anderen verwandten Industrien zu erfüllen. PlasmaPro 100 bietet eine vielseitige Plattform für präzise Plasmabearbeitung, die es Anwendern ermöglicht, überlegene Ätz- und Ascheergebnisse auf einer breiten Palette von Substraten zu erzielen. OXFORD PlasmaPro 100 verfügt über ein hochmodernes Kammerdesign, das eine einheitliche Plasmaverteilung und eine effiziente Gasausnutzung ermöglicht und für konsistente und reproduzierbare Verarbeitungsergebnisse sorgt. Das System ist mit fortschrittlichen Plasmaquellen und Steuerungsmechanismen ausgestattet, die eine präzise Abstimmung von Prozessparametern wie Gasdurchflussraten, HF-Leistung, Druck und Temperatur ermöglichen. Mit dieser Steuerung können Anwender die Plasmachemie und die Energie anpassen, um die Prozessleistung für bestimmte Anwendungen zu optimieren. Ein wesentliches Merkmal von PlasmaPro 100 ist seine Flexibilität im Umgang mit verschiedenen Arten von Substraten, einschließlich Halbleiterscheiben, Glas, Metallen und Polymeren. Das Gerät bietet anpassbare Optionen für die Handhabung von Substraten wie Wafergrößen, Spannfuttertypen und Temperaturregelung für eine Vielzahl von Probentypen und -größen. Durch diese Vielseitigkeit eignet sich OXFORD PlasmaPro 100 für Forschungslabore, Pilotanlagen und komplette Fertigungsanlagen. PlasmaPro 100 ist mit einer Reihe von Gaszufuhrsystemen ausgestattet, die sowohl Ätz- als auch Ascheprozesse unterstützen. Anwender können aus einer Vielzahl von Prozessgasen wie Chlor, Fluor, Sauerstoff und Argon wählen, um die gewünschte Ätzselektivität, Anisotropie und Profilkontrolle zu erreichen. Die Maschine beinhaltet auch ein hocheffizientes Pumpwerkzeug zur schnellen Kammerentsorgung und präzisen Steuerung des Prozessdrucks, die Erhöhung der Prozesswiederholbarkeit und Zuverlässigkeit. Um die Sicherheit und Einhaltung der Industriestandards zu gewährleisten, ist OXFORD PlasmaPro 100 mit robusten Verriegelungssystemen, Gaslecksuchmechanismen und Notabschaltfunktionen ausgestattet. Das Asset ist mit benutzerfreundlichen Softwareschnittstellen ausgestattet, die eine intuitive Prozessüberwachung und -steuerung ermöglichen. Bediener können problemlos Prozessrezepte einrichten, Prozessdaten in Echtzeit überwachen und Ergebnisse analysieren, um die Prozessleistung zu optimieren. Zusätzlich zu seinen fortschrittlichen Verarbeitungsfunktionen ist PlasmaPro 100 auf einfache Wartung und Wartungsfreundlichkeit ausgelegt. Das Modell enthält Diagnosetools und Funktionen zur Fernüberwachung, um eine proaktive Wartungsplanung und Fehlerbehebung zu ermöglichen. OXFORD Instruments bietet umfassenden technischen Support, Schulungsprogramme und Anwendungsunterstützung, um Anwendern die Leistung und Langlebigkeit ihrer OXFORD PlasmaPro 100 Systeme zu maximieren. Insgesamt ist PlasmaPro 100 eine hochmoderne Plasmaätz- und Aschemaschine, die Präzision, Vielseitigkeit und Zuverlässigkeit kombiniert, um den sich entwickelnden Anforderungen der Halbleiter- und verwandten Industrien gerecht zu werden. Mit seinem fortschrittlichen Kammerdesign, den anpassbaren Handhabungsoptionen für Substrate, der präzisen Prozesssteuerung und der benutzerfreundlichen Schnittstelle setzt OXFORD PlasmaPro 100 einen neuen Standard für die Plasmabearbeitungstechnologie und ermöglicht Anwendern, überlegene Ergebnisse in ihren Forschungs- und Produktionsanwendungen zu erzielen.
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