Gebraucht OXFORD PlasmaPro 100 #293818862 zu verkaufen

OXFORD PlasmaPro 100 ist eine führende Ätz-/Aschemaschine für fortschrittliche Plasmabearbeitungsanwendungen in Forschungs- und Produktionsumgebungen. Dieses fortschrittliche System bietet eine präzise Kontrolle über Plasmaprozesse, um eine qualitativ hochwertige Ätzung, Reinigung und Oberflächenmodifizierung verschiedener Substrate zu erreichen. Mit seinen flexiblen Konfigurationsoptionen und der benutzerfreundlichen Schnittstelle bietet PlasmaPro 100 Vielseitigkeit und Zuverlässigkeit für eine Vielzahl von Anwendungen in Branchen wie der Halbleiterfertigung, der MEMS-Fertigung und der Mikroelektronik. Kernstück der OXFORD PlasmaPro 100 Einheit ist eine Hochleistungs-Plasmaquelle, die innerhalb der Prozesskammer ein Niederdruck-Hochdichteplasma erzeugt. Diese Plasmaquelle verwendet verschiedene Gase wie Sauerstoff, Argon und Fluor, um reaktive Spezies zu schaffen, die mit der Substratoberfläche interagieren und präzise Ätz- und Reinigungsprozesse ermöglichen. Die Maschine ist mit fortschrittlichen HF-Anpassungsnetzwerken und Stromversorgungen ausgestattet, um stabile Plasmabedingungen und einheitliche Prozessergebnisse über die Substratoberfläche zu liefern. PlasmaPro 100 verfügt über eine Reihe von Prozessgasen und Steuerparametern zur Optimierung von Ätz- und Ascheprozessen für bestimmte Materialien und gewünschte Ergebnisse. Anwender können aus einer Vielzahl von Gasdurchflussraten, Druckeinstellungen und Leistungsstufen wählen, um den Plasmaprozess auf ihre Anforderungen abzustimmen. Das Werkzeug umfasst Gasflussregler, Massendurchflussmesser und Drucksensoren zur Überwachung und Regulierung der Gasumgebung innerhalb der Prozesskammer, um konsistente und wiederholbare Ergebnisse zu gewährleisten. Die Prozesskammer des OXFORD PlasmaPro 100 ist für eine effiziente Plasmabearbeitung mit Funktionen wie einem beheizten Futter, einer Turbopumpe und Temperaturregelsystemen optimiert. Das beheizte Spannfutter ermöglicht eine präzise Temperaturregelung des Substrats während der Verarbeitung, was entscheidend für die Aufrechterhaltung der Oberflächengleichförmigkeit und die Vermeidung von Schäden an empfindlichen Materialien ist. Die Turbopumpe sorgt für eine schnelle Gasabfuhr aus der Kammer und ermöglicht schnelle Zykluszeiten und einen hohen Prozessdurchsatz. PlasmaPro 100 Asset ist mit fortschrittlichen Plasma-Diagnosetools ausgestattet, um die Plasmaprozesse in Echtzeit zu überwachen und zu optimieren. Optische Emissionsspektroskopie (OES) und massenspektrometrische Techniken geben Einblick in die Zusammensetzung des Plasmas und der am Ätzprozess beteiligten Spezies. Diese Diagnosefähigkeit ermöglicht es Anwendern, Prozessparameter für optimale Leistung und Materialselektivität feinabzustimmen. Die Benutzeroberfläche des OXFORD PlasmaPro 100 ist für einfache Bedienung und Steuerung mit Touchscreen-Display und intuitiver Softwareschnittstelle konzipiert. Anwender können Prozessrezepte einrichten, die Modellleistung überwachen und Prozessdaten in Echtzeit analysieren, wodurch Prozessparameter für verschiedene Anwendungen einfach optimiert werden können. Das Gerät verfügt auch über Fernüberwachungs- und Steuerungsfunktionen, so dass Benutzer von einem entfernten Standort aus auf das System zugreifen und es steuern können, um mehr Komfort und Flexibilität zu bieten. Abschließend ist PlasmaPro 100 eine hochmoderne Ätz-/Aschereinheit, die präzise Steuerung, Flexibilität und Zuverlässigkeit für eine breite Palette von Plasmabearbeitungsanwendungen bietet. Mit seiner fortschrittlichen Plasmaquelle, dem Prozesskammerdesign, Diagnosewerkzeugen und der benutzerfreundlichen Schnittstelle ist OXFORD PlasmaPro 100 eine vielseitige Lösung für die Halbleiterherstellung, MEMS-Herstellung und Mikroelektronik-Forschung.