Gebraucht OXFORD PlasmaPro 800 Plus #9412285 zu verkaufen

OXFORD PlasmaPro 800 Plus ist ein Ätzer/Ascher, der speziell für das Hochgeschwindigkeitsätzen von Halbleitersubstraten entwickelt wurde. Das Hochgeschwindigkeits-Ätzwerkzeug ist mit fortschrittlichen Mikrowellen- und HF-Plasma-Technologien ausgestattet, die ein schnelleres Ätzen mit höheren Ausbeuten und Genauigkeit ermöglichen. PlasmaPro 800 Plus verfügt über einen großflächigen Arbeitstisch mit vier Quarz-Halogen-Reflektoren, die eine hohe Leistung über die gesamte Oberfläche ermöglichen. Die Reflektoren sind mit einem speziellen dielektrischen Material beschichtet, um die Entstehung von Mikroentladungen zu verhindern und einen gleichmäßigen und präzisen Ätzprozess zu gewährleisten. OXFORD PlasmaPro 800 Plus ist mit vier Hochfrequenzquellen ausgestattet, die im Mikrowellenfrequenzbereich von 13,56 MHz betrieben werden. Jede dieser vier HF-Quellen hat einen einzigen HF-Ausgang, der entweder zum Ätzen oder zum Aschen konfiguriert werden kann. Das Tool bietet darüber hinaus zusätzliche Ressourcen für die konfigurierbare Energiezufuhr und -steuerung, die eine höhere Genauigkeit und Flexibilität für verschiedene Ätzprozesse ermöglichen. PlasmaPro 800 Plus verfügt zudem über einen hochpräzisen Präzisions-Staging-Mechanismus, mit dem die Position des Substrats genau eingestellt werden kann. Die Präzisionsbewegung wird durch einen Mikromotorservo geregelt, der mit einer zweiachsigen Verstellung und einem hochauflösenden Encoder ausgestattet ist. Dadurch wird sichergestellt, dass die Substrate bei der Durchführung des Ätzvorgangs auf dem Niveau bleiben. Ein weiteres besonderes Merkmal des OXFORD PlasmaPro 800 Plus sind seine fortschrittlichen Prozessüberwachungs- und Steuerungssysteme. Es verfügt über eine Reihe von Monitoren, wie ein Echtzeit-Plasmaintensitätsmonitor, ein Prozesszeitmonitor und ein Substrattemperaturmonitor, um Echtzeit-Feedback zum Ätzprozess zu liefern. Es enthält auch ein Prozessleitsystem, mit dem Benutzer die Ätzparameter für bestimmte Prozessbedingungen genau anpassen können. PlasmaPro 800 Plus beinhaltet auch eine umfassende Prozessdatenbank, mit der Anwender Verarbeitungsdaten problemlos speichern und abrufen können. Daten können schnell und einfach aus nichtflüchtigem Speicher abgerufen werden und sind nach bestimmten Prozessbedingungen organisiert. OXFORD PlasmaPro 800 Plus ist ein unverzichtbares Werkzeug für das schnelle und präzise Ätzen von Halbleitersubstraten. Es ist mit fortschrittlichen HF- und Mikrowellen-Plasmatechnologien, einem ausgeklügelten Kommissioniermechanismus und einer umfassenden Prozessdatenbank ausgestattet. Das Tool verfügt außerdem über eine Reihe von Monitoren und ein Prozessleitsystem, mit dem Benutzer den Ätzprozess in Echtzeit anpassen und überwachen können. Dies bietet Anwendern mehr Kontrolle, Genauigkeit und Flexibilität.