Gebraucht OXFORD PlasmaPro NGP 1000 #293587283 zu verkaufen

OXFORD PlasmaPro NGP 1000
ID: 293587283
Wafergröße: 12"
PECVD System, 12".
OXFORD PlasmaPro NGP 1000 ist ein Ätzer/Ascher, der mit Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD) Technologie arbeitet. Es basiert auf einer parallelen Platte, mikrowellenbetriebenen Komponente, vielseitig genug, um eine breite Palette von Anwendungen zu erfüllen. Dieses Modell zeichnet sich durch eine verbesserte Abscheidegleichmäßigkeit dünner Schichten mit optimaler Oberflächenqualität für komplizierte Mikroelektronik-Anwendungen aus. Es ist für Rapid Prototyping und die Produktion von Dünnschichtgeräten mit hohem Durchsatz konzipiert und bietet eine hohe Prozesswiederholbarkeit und zuverlässige Leistung. OXFORD PLASMA PRO NGP1000 ist ein Niederdruckgerät, das für höchste Bauteilsicherheit und Zuverlässigkeit ausgelegt ist. Dieses System verfügt über eine integrierte benutzerfreundliche grafische Oberfläche und wurde entwickelt, um eine moderate bis hohe Abscheidung bei niedrigen Betriebstemperaturen zu ermöglichen. Dieser Ätzer kann verschiedene Filmabscheidungsaufgaben mit großer Präzision bewältigen, wie Dünnschichtbeschichtungen für MEMS, Dünnschichttransistoren, ferroelektrische Speicher und Solarzellen. Darüber hinaus kann es als Trockenätzer eingesetzt werden und bietet einen sicheren und schnellen Ätzprozess von Polymeren, Metallen, Oxiden und Halbleiterschichten. PlasmaPro NGP 1000 verfügt über einen Leistungsbereich von 0-500W und bietet eine breite Palette von Prozessflexibilität. Es hat einen regelbaren Druckbereich von 0,5-10 mTorr, einstellbare Gasströme von 10-1000 sccm und eine einstellbare HF-Frequenz, die sich von 0-13,56 MHz erstrecken kann. Das Plasma wird durch eine 13,56 MHz Hochfrequenzquelle erhitzt, um die notwendigen aktiven Spezies zu erzeugen, um die Ätz- und Abscheidungsprozesse ohne zusätzliche Wärme zu heilen. Darüber hinaus verfügt die Einheit über ein unabhängiges Verriegelungsschema, um sicherzustellen, dass ihr Prozessbehälter vollständig sicher ist. Insgesamt ist PLASMA PRO NGP1000 ein zuverlässiger und flexibler Ätzer/Ascher, der in einer Vielzahl von Prototyping-Anwendungen erhebliche Vorteile bietet. Es kann wiederholbare und genaue Ergebnisse mit minimaler Wartung liefern und eignet sich für eine Vielzahl von Branchen, einschließlich Mikroelektronik, MEMS, Ferroelektrika und Dünnschichttransistoren. Das Niederdruckdesign und die einfache Bedienung machen es zu einer ausgezeichneten Wahl für diejenigen, die eine leistungsstarke und zuverlässige Abscheidemaschine suchen.
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