Gebraucht OXFORD PlasmaPro NGP 1000 #293636250 zu verkaufen

OXFORD PlasmaPro NGP 1000
ID: 293636250
Wafergröße: 12"
PECVD System, 12".
OXFORD PlasmaPro NGP 1000 ist ein hochpräziser Plasma Asher/Etcher, der außergewöhnliche Ergebnisse bei Ätz- und Ascheanwendungen liefert. Es verwertet eine Niedrigstromspannungsmediumsfrequenzstromversorgung, um eine hoch stabile Ausgangsleistung zu bieten. Darüber hinaus sorgen der fortschrittliche HF-Stromgenerator und die Stabilisierungstechniken von Paschen Law für überlegene Ätz- und Ascheleistungen. Der NGP 1000 ist mit einer intuitiven Steuerung ausgestattet, die eine einfache Bedienung ermöglicht und durch ein integriertes Sicherheitssystem zur Gefahrenverhütung gesichert ist. Der NGP 1000 ist in der Lage, Tiefätzen mit extrem feiner seitlicher Auflösung, gleichmäßigen Ätzprofilen und glatten Seitenverhältnissen mit überlegener Wiederholbarkeit zu erzeugen. Der hochpräzise Ätzer ist mit einem geschlossenen Massenstromregler zur genauen Steuerung des Kammerdrucks vom Niedervakuum bis zum Ultrahochvakuum integriert, der genaue Ätzprozesse ermöglicht. Es verfügt auch über eine Kammertemperatursteuereinheit, um eine gleichmäßige Temperatur während des gesamten Ätz- und Ascheprozesses zu halten. Darüber hinaus ist die Kammergröße des NGP 1000 in der Lage, Substrate mit einem Durchmesser von bis zu 12 Zoll aufzunehmen. Das Vorwärts-HF-Bias des Geräts verfügt über eine wählbare Verzögerungszeit und die Simulationsfähigkeit mehrerer Impulshüllkurven, um die perfekte Auswahl für verschiedene Ätzanwendungen zu bieten. Zusätzlich kann die rückseitige Substratheizmaschine zur Unterdrückung der Erzeugung unerwünschter Partikel verwendet werden, während der integrierte hochpräzise Roboter zur Durchführung präziser Vor- und Nachätzoperationen verwendet werden kann. Das einheitliche Ionenflussförderwerkzeug des NGP 1000 garantiert eine optimale Ätztiefe und -profil sowie eine gleichbleibende Ergebnisreproduzierbarkeit. Darüber hinaus ist der vielseitige Ätzer mit einer Reihe von Gasgemischen kompatibel, darunter Argon, Fluorid und Carbon. Damit ist sichergestellt, dass der NGP 1000 für eine Vielzahl von Anwendungen eingesetzt werden kann, vom Grundätzen bis zum Tiefätzen von Metall- und Nichtmetallwerkstoffen. Insgesamt ist die NGP 1000 eine ideale Wahl für hochpräzise, wiederholbare Ätz- und Ascheanwendungen in einer industriellen Umgebung.
Es liegen noch keine Bewertungen vor