Gebraucht OXFORD PlasmaPro NGP 1000 #293765806 zu verkaufen
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ID: 293765806
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2012
PECVD System, 8"
Load Locked Chamber
System PC, Keyboard, Mouse
X20 PLC
Chamber heating kit
Dual frequency RF
HF RF Generator
LF RF Generator
490 mm Diameter Aluminum Lower Electrode
Gas-shock assisted chamber lift mechanism
Dry pump
Load lock vacuum pump
Operations manual and documentation
X20 External Gas Box
2012 vintage.
OXFORD PlasmaPro NGP 1000 ist ein fortschrittlicher Ätzer und Ascher für eine breite Palette von Werkstoffen. Es verfügt über eine leistungsstarke 1 kW Quelle, die ein präzises und effizientes Ätzen und Aschen von Wafern mit einem Durchmesser von bis zu 4 Zoll ermöglicht. Darüber hinaus verfügt der NGP 1000 über eine schnelle HF-Source-Umschaltung, die einen nahtlosen Übergang zwischen Prozessen ermöglicht und somit für eine Reihe steigender Ätz-/Aschebedürfnisse geeignet ist. Der NGP 1000 hat einen Temperaturbereich von -50 ° C bis + 50 ° C, der es ermöglicht, eine Vielzahl von Materialien bis zu 1,6 mm dick zu ätzen und zu aschen. Darüber hinaus verfügt es über eine branchenführende 400MHz Frequenz- und 0.9s Pulsing Resolution, die Präzision und Genauigkeit im Ätzprozess verbessert. Die fortschrittliche Hardware ermöglicht auch eine präzise Gasdruckregelung, die einen konsistenteren Prozess und bessere Qualitätsergebnisse ermöglicht. Das robuste und effiziente Design des NGP 1000 ermöglicht eine breite Palette von Anwendungen, die vom schnellen Ätzen bis zur Tieftemperaturverarbeitung reichen. Das Gerät umfasst auch eine Reihe fortschrittlicher Funktionen wie parallele Verarbeitungsfähigkeit und Echtzeit-Prozessüberwachung, wodurch es für hoch spezifizierte Ätz- und Veraschungsanforderungen gut geeignet ist. Darüber hinaus ist der NGP 1000 mit einem integrierten FOUP-Waferträger ausgestattet, der es ermöglicht, bis zu acht Wafer gleichzeitig zu laden und zu bearbeiten. Der NGP ist auch voll kompatibel mit OXFORD System Control Software, die Anwendern die volle Kontrolle über die verschiedenen Funktionen und Parameter des Geräts bietet. Diese Software ermöglicht es Benutzern, zahlreiche Prozessrezepte zu erstellen und zu speichern und die Ergebnisse in Echtzeit zu überwachen. Darüber hinaus verfügt die Software über eine Reihe von Funktionen, die die Überwachung und Steuerung der Maschine sowie die sichere Speicherung von Rezeptdaten erleichtern. Insgesamt ist OXFORD PLASMA PRO NGP1000 ein professioneller Ätzer und Ascher mit einer leistungsstarken 1 kW Quelle, präziser Gasdruckregelung und fortschrittlicher Hardware, die es für eine Vielzahl von Anwendungen geeignet macht. Es enthält auch eine Reihe von erweiterten Funktionen, wie parallele Verarbeitung, FOUP Wafer-Träger und Oxfords' Tool Control Software, die die NGP 1000 eine ideale Wahl für Präzisionsätzen und Aschen Anforderungen machen.
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