Gebraucht PANASONIC PC30B-HS #293615437 zu verkaufen

PANASONIC PC30B-HS ist eine effiziente Hochgeschwindigkeitsätz- und Aschemaschine für die Herstellung von Halbleiterbauelementen. Es verfügt über eine große Regalkapazität, die bis zu 200 8-Zoll (oder 12-Zoll) Wafer pro Prozesslauf halten kann. PC30B-HS besteht aus fünf unabhängigen Prozesskammern, die miteinander verbunden sind und ein großes System mit einem einzigen Controller bilden. Die Kammern sind horizontal/vertikal angeordnet, so dass die maximale Kapazität bei optimiertem Arbeitsraum erreicht werden kann. Jede Prozesskammer wird in vertikaler Ausrichtung mit einzelnen Heizungen pro Kammer beaufschlagt. Das Gerät bietet eine Auswahl von Prozessprogrammen, einzelnen Rezeptfunktionen und einer Reihe von Steuerparametern, die direkt innerhalb der Maschine selbst zu programmieren sind. Dies ermöglicht eine maximale Kontrolle des Prozesses und ermöglicht optimale Ätz- oder Ascheergebnisse. Darüber hinaus haben Benutzer Zugriff auf eine Reihe von Remote-Operationen und vorausschauenden Wartungstools, mit denen potenzielle Fehlfunktionen sofort erkannt und der Betreiber über alle erforderlichen Maßnahmen informiert werden können. In Bezug auf Betriebsparameter ist PANASONIC PC30B-HS in der Lage, bei einer eingestellten Temperatur von bis zu 2000 Grad C zu ätzen und zu aschen. Der Betriebsdruck ist zwischen 0 und 0.10MPa einstellbar oder zum Ätzen 1.0MPa. Die Prozesszeiten können von 1 bis 999 Sekunden und bis zu 4999 Sekunden für das Ätzen eingestellt werden. Darüber hinaus ist das Werkzeug mit einer automatischen Gaszufuhr ausgestattet, die in der Lage ist, den Fluss von Prozessgasen für einen sicheren, sauberen und konsistenten Prozess genau zu steuern. Zur Benutzerüberwachung ist PC30B-HS mit einer erweiterten Benutzeroberfläche ausgestattet, die die aktuellen Prozessparameter anzeigt und programmierbar ist, um bei Einhaltung bestimmter Schwellenwerte Alarme auszulösen. Dies in Kombination mit der Echtzeit-Temperaturüberwachung und der internen Modelldiagnose garantiert konsistente und optimale Ascheergebnisse. Darüber hinaus ist die Ausrüstung konform mit der J-STD-004, die ein branchenweit anerkannter Standard für Ätz- und Aschesicherheit und Qualitätskontrolle ist. Insgesamt ist PANASONIC PC30B-HS ein zuverlässiges, effizientes Ätz- und Aschesystem, das einen konsistenten und optimalen Prozess ermöglicht. Seine intuitive Benutzeroberfläche, kombiniert mit den fortschrittlichen Überwachungssystemen des Geräts, garantieren einen optimalen Prozess. Dadurch ist PC30B-HS eine ideale Wahl für jede Produktionsstätte für Halbleiterbauelemente.