Gebraucht PHOENIX RE-200 #9042770 zu verkaufen
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ID: 9042770
Wafergröße: Up to 5"
Weinlese: 1998
Rotary etcher, up to 5"
(2) Tanks (450 x 280 x 220 mm)
Air 4 at., water 40 1/min, 3.5 at.
220 V / 30 A / 50 Hz
1998 vintage.
PHOENIX RE-200 ist ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher für eine Vielzahl von Industrie- und Forschungsaufgaben und Laboroperationen. Diese moderne Ausrüstung kombiniert Ätz- und Aschefunktionen, um effiziente und zuverlässige Ergebnisse in einem mühelosen Herstellungsprozess zu erzielen. Das System verfügt über Doppelkammerkonstruktionen mit Lastverriegelungseinrichtungen, die es ermöglichen, das Ätzen und Aschen gleichzeitig oder nacheinander durchzuführen. Das effiziente Design von RE-200 umfasst 6 alldirektionale Hubstifte, die ein schnelles Be- und Entladen ohne aktiven Gastransport oder Substratklemmen ermöglichen. Die Kammer ist temperaturgesteuert und temperaturstabilisiert, um ein gleichmäßiges Ätzen zu gewährleisten. Die Verdampfungskammer weist einen abnehmbaren Verdampfer mit geringem Wartungsaufwand auf. Der Verdampfer verfügt zudem über einen geringen Energieverbrauch und die Fähigkeit, große Substrate zu verarbeiten. Die Ätzfunktionen von PHOENIX RE-200 sowohl Speichergeräte als auch Logikgeräte umfassen, mit der Fähigkeit, Parameter für verbesserte Fertigungsergebnisse zu verfeinern. Die Plasmaproduktionseinheit und die automatische Gasversorgung ermöglichen ein präzises Ätzen und Aschen mit einer Vielzahl von Gasen. Die Maschine kann auch Vakuumbrennen und Vakuumgrundierung für die Transistorherstellung unterstützen. Die Aschefähigkeit von RE-200 verwendet einen leistungsstarken temperaturgesteuerten HF-Generator, um organische Materialien innerhalb der Aschekammer zu entfernen. Die Entwässerung der und Nebenprodukte erfolgt automatisiert, wobei die Ätzgasreinigungsfähigkeiten keine Tönungsrückstände zulassen. Das Werkzeug bietet auch vierstufiges Pumpen für ultimative Vakuumsteuerung im Aschevorgang. PHOENIX RE-200 bietet Portabilität und Benutzerfreundlichkeit mit einem einphasigen Stromanschluss für einen zuverlässigen Betrieb. Die Anlage verfügt auch über Niederdruckbetrieb mit reduziertem Corona-Gasverbrauch und Abfallerzeugung. Das Modell bietet LCD-Display und farbcodierte Touchscreen-Tasten zur einfachen Bedienung und Überwachung des Prozesses. Die Ausrüstung entspricht auch den CE- und CSA-Standards und gewährleistet die Einhaltung höchster Sicherheits- und Qualitätsstandards.
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