Gebraucht PLASMA ETCH BT-1 #9100075 zu verkaufen

PLASMA ETCH BT-1 ist ein Ätzer und Ascher, der hochenergetische Plasmen verwendet, um organische und anorganische Materialien zu ätzen und zu aschen. Sein Betrieb basiert auf einer hochfrequenten induktiven Konstruktion, die ein gleichmäßiges und steuerbares Plasma an das Substrat liefert. Es ist ideal für Prozesse wie dielektrisches Ätzen, Metallisierung und Mikroherstellung. PLASMA ETCH BT1 verwendet ein Antennenarray, das Hochfrequenzplasma von bis zu 13,56 MHz erzeugt, um eine Vielzahl von Materialien wie Si, SiO2, Si3N4, Metalle und Polyimid zu ätzen und zu aschen. Dies ermöglicht ein präzises und wiederholbares Ätzen dünner Materialschichten, wie Siliziumdioxid, zur direkten Geräteherstellung. Die Ätzkammer von BT-1 hat einen komfortablen Temperaturbereich von 0-60 ° C (5-90 ° C mit der optionalen Hochtemperaturkammer). Mit Hilfe einer Turbopumpe und eines Filtersystems ist die Kammer in der Lage, einen weiten Betriebsdruckbereich von 0,1-500 mTorr ohne externe Evakuierung zu erreichen. Dies ermöglicht eine Vielzahl von Ätzprozessen, wie Ätzband-, Metallabhebe- und Tiefgrabenätzen. BT1 ist einfach zu bedienen, mit seinem eingebetteten Prozessregler, der eine breite Palette von Prozessparametern für kundenspezifisches Plasmaätzen und -veraschen gewährleistet. Der eingebettete Prozesscontroller kann helfen, die Wiederholbarkeit zu optimieren, indem er die idealen Ätzparameter anhand der Prozessparameter, insbesondere der Ätzgeschwindigkeit und Gleichmäßigkeit, identifiziert. Sein mikroprozessorgesteuerter, direkt gekoppelter HF-Antrieb kann auch dazu beitragen, während des Verarbeitungszyklus ein schnelles Hochfahren und Herunterfahren der HF-Leistung zu erreichen. Dies hilft, den Ätzdurchsatz zu steigern und die Auswirkungen der Probenaufladung zu reduzieren. PLASMA ETCH BT-1 kommt auch mit einer breiten Palette von optionalem Zubehör, wie einem Hochfrequenz (RF) vorgespannten Kopf, der hilft, die Materialhaftung auf schwierigen Ätzmaterialien zu reduzieren. PLASMA ETCH BT1 ist für hochvolumige und hochpräzise Fertigungsprozesse konzipiert. Es wurde in der Herstellung von mikro-elektro-mechanischen Systemen (MEMS) und in der Herstellung von anderen komplexen Mikrogeräten verwendet. Es ist eine gute Wahl für diejenigen, die einen einfach zu bedienenden Ätzer und Ascher mit einer Vielzahl von Prozessparametern und robusten Funktionen suchen.