Gebraucht PLASMA ETCH BT-2 #9083265 zu verkaufen
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PLASMA ETCH BT-2 ist eine hochpräzise Ätzplattform von PLASMA ETCH, Inc., die das Trockenätzen auf einer Vielzahl von Materialien und Substraten ermöglicht. Diese Workstation wurde mit einer robusten Engineering-Plattform entwickelt, die genaue Wiederholbarkeit mit Kontrolle und Flexibilität kombiniert. Mit einer Kombination aus hohen Temperaturen und Hochgeschwindigkeits-Plasmaprozessen können BT-2 eine Vielzahl von Materialien schnell und präzise ätzen und aschen. Die zugrunde liegende Technologie von PLASMA ETCH BT-2 basiert auf einem hochdichten Plasmaätzverfahren (HDP). Dieses Verfahren nutzt eine asymmetrische duale Hochfrequenz (RF) -Stromversorgung, um dem Plasma stark wiederholbare Energie zuzuführen. Das Verfahren wird dann durch eine auf das Ätzsubstrat aufgebrachte senkrechte HF-Vorspannung stabilisiert, wodurch sich im Material Strukturen mit hohem Aspektverhältnis bilden. Das System bietet auch eine dynamische Ionenenergiesteuerung zwischen Quelle und Substrat, die eine präzise Ätzmaskendefinition bei gleichzeitig verbesserter Ätzgleichförmigkeit durch Leistungseinstellung ermöglicht. Die Gesamtkonstruktion der BT-2 ist modular und kompakt; sein Vakuumgehäuse ist aus einem eloxierten Aluminiumgehäuse mit einer Edelstahl- und Aluminiumunterkammer und einer abgedichteten Luftkammer aufgebaut. Es wurde entwickelt, um in jedes Labor in Industriegröße passen zu können. Die Kammer ist verstellbar und ermöglicht sowohl CVD- als auch Einkammer-Ätzprozesse, wodurch sie für eine Vielzahl von Anwendungen geeignet ist. Darüber hinaus ist das System mit einem integrierten Prozessverriegelungssystem ausgestattet, um Prozesswiederholbarkeit, Sicherheit und Qualität zu gewährleisten. Der Einsatz von HF-Leistung von PLASMA ETCH BT-2 bietet ihm mehrere einzigartige Vorteile, wie erhöhte Ätzrate und Selektivität sowie eine verbesserte Materialausnutzung. Darüber hinaus sorgt die hohe Wärmeisolierung für einen sehr geringen Stromverbrauch im Vergleich zu herkömmlichen Verfahren und ist damit eine attraktive Option für kostengünstige Entwicklungsprojekte. Die unglaubliche Präzision von BT-2 sorgt auch für höhere Genauigkeit auf Makings und kann so präzise wie 50nm breite Linien auf Keramik- und Dünnfilmpaketen produzieren. PLASMA ETCH BT-2 Ätzer kann auf die spezifischen Bedürfnisse jedes Labors oder Anwenders zugeschnitten werden. Es bietet umfassenden Hardware-Support, detaillierte Dokumentation und Kundenservice für diejenigen, die Hilfe bei Einrichtung und Betrieb suchen. Mit seinem leistungsstarken, effizienten und zuverlässigen Design ist BT-2 eine hervorragende Lösung für jede Ätz- und Ascheanwendung.
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