Gebraucht PLASMA ETCH MK-II-1 #9187172 zu verkaufen

Hersteller
PLASMA ETCH
Modell
MK-II-1
ID: 9187172
Weinlese: 2005
Plasma cleaner / Etcher Electrode configuration, Horizontal planar: 8 Levels Process temperature control: 125°F to 300°F ±5°F R.F Generator & automatching network: 2000 Watts@13.56 MHz Mass flow controller (2 Channels): 0-2000 CC/min Vacuum gauge, capacitance monometer: 0-10 Torr Touchscreen control system included Vacuum pump, multiple stage, oxygen service: 355 / 30 CFM Chilled water recirculate, closed loop : 20°C ±0.5°C 2005 vintage.
PLASMA ETCH MK-II-1 ist ein Ätzer/Ascher für Präzisionsätzen, Glühen oder Oberflächenbehandlungen von Substraten, die bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen verwendet werden. Dieser Ätzer ist in der Lage, eine Vielzahl von Mustern in hoher Auflösung in einer Vielzahl von Materialien zu erstellen. Es ist ein vielseitiges Werkzeug für eine Vielzahl von Materialentfernungstechniken. Herzstück von MK-II-1 ist eine leistungsstarke induktiv gekoppelte Hochfrequenzquelle (RF) mit einstellbarer Leistung bis 5000 Watt. Diese HF-Quelle ist mit einer aufwendigen Kammer gekoppelt, deren Hauptteile ein Paar obere und untere Elektroden und ein Deck mit verstellbaren Regalen sind, die den Prozessbereich bilden. Der Prozessbereich ist mit einem isolierenden Gaseinlass, Auslässen für Gasabgase, einem automatischen Verschluss und einer Trägeranordnung für das Substratmaterial ausgestattet. Neben der induktiv gekoppelten HF-Quelle verfügt PLASMA ETCH MK-II-1 auch über ein passendes Netzwerk, das hilft, im Betrieb konstante Ausgangsleistung zu erzielen. Es enthält auch eine variable Gasströmungsanlage, um eine schnelle und effiziente Zufuhr von reaktiven Gasen in den Prozessbereich zu gewährleisten. Dieses System besteht aus einer Hochdruckseite zur Abgabe trockener Gase und einer Niederdruckseite zur Abgabe von Flüssigkeiten. MK-II-1 enthält auch eine Reihe von benutzerfreundlichen Funktionen. Seine Benutzeroberfläche ist einfach zu erlernen und zu bedienen, und es ist mit einer Vielzahl von Rezepten für Ätz-, Glüh- und Oberflächenbehandlungen programmierbar. Es bietet auch eine dreidimensionale Einheit zum Ätzen, die ein präzises Ätzen von Mustern auf nicht planaren Flächen ermöglicht. PLASMA ETCH MK-II-1 verfügt über eine Reihe von Sicherheitsmerkmalen wie eine Türverriegelungsmaschine, die ein Öffnen der Tür bei aktiver HF-Leistung verhindert, und eine geerdete Kammer zur Aufnahme der sich im Betrieb aufbauenden elektrostatischen Ladung. Es enthält auch ein Alarmwerkzeug und eine Temperaturschutzeinrichtung, die die Temperatur innerhalb der HF-Kammer überwacht und steuert. Schließlich ist MK-II-1 ein sehr langlebiges Modell. Seine Komponenten sind aus Edelstahl gefertigt, wodurch sie den rauen Bedingungen des Ätzprozesses standhalten. Die Ausrüstung hat zudem eine lange Lebensdauer und ist praktisch wartungsfrei. Die daraus resultierende Leistungsfähigkeit und Zuverlässigkeit machen PLASMA ETCH MK-II-1 zu einer idealen Wahl für viele Ätz- und Oberflächenbehandlungsanwendungen.
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