Gebraucht PLASMA ETCH PE-100 #9402380 zu verkaufen

Hersteller
PLASMA ETCH
Modell
PE-100
ID: 9402380
Plasma system Running hours: 15 EDWARDS Vacuum pumps No chiller.
PLASMA ETCH PE-100 ist eine automatisierte Ätz- und Aschebearbeitungseinheit, die für hohe Präzision und Wiederholbarkeit bei Ätz- und Ascheprozessen ausgelegt ist. Es ist mit drei Bearbeitungskammern und einer benutzerfreundlichen Touchscreen-Bedienoberfläche konfiguriert. Das Hauptziel des ETCH- PE-100 ist es, einen hochwertigen, effizienten, kostengünstigen und zuverlässigen Ätz- und Ascheprozess für die Waferherstellung in der Halbleiterindustrie bereitzustellen. Darüber hinaus ist es mit einer leistungsstarken Steuerung ausgestattet, die für eine erhöhte Präzision und Wiederholbarkeit beim Ätzen und Aschen sorgt. Der Zustand des Wafers während des Ätzvorgangs bestimmt den Ätzgrad und ob der Prozess gestoppt oder fortgesetzt wird. Dies wird kontinuierlich und präzise mit dem einzigartigen 'Wafer Smoothness Analyzer' überwacht, der in die ETCH PLASMA ETCH PE-100 Einheit integriert ist. Diese Vorrichtung nach dem Stand der Technik ist in der Lage, die Oberflächengleichmäßigkeit und Rauheit des Wafers beim Ätzen kontinuierlich zu messen. Der Aschebetrieb von ETCH PE-100 sorgt zudem für Zuverlässigkeit und Wiederholbarkeit. Der Plasmaascher verarbeitet den Wafer mit einem Hochtemperaturplasma, um Rückstände auf Polymerbasis schnell und effektiv zu entfernen. Dies ist wesentlich bei der Herstellung ultrafeiner Partikel, Nanopartikel und anderer fortschrittlicher Komponenten mikroelektronischer Produkte in der Halbleiterindustrie. Die durch den PLASMA ETCH-Prozess erzeugte hohe Temperatur kann genau und wiederholt geregelt werden, um sicherzustellen, dass die Proben gleichmäßiges Ätzen oder Aschen erfahren. Das Power Outsource ist einstellbar und ermöglicht schnellere wiederholte Zyklen und die' Real-Time Temperature Control 'sorgt dafür, dass genaue und stabile Temperaturen eingehalten werden. Die ETCH PLASMA ETCH PE-100 bietet zudem eine hohe automatisierte Selbstdiagnose, die einen hohen Grad an präventiver Wartung ermöglicht, eine intelligente Möglichkeit bietet, Wartungsarbeiten zu reduzieren und die Leistungszeit zu verbessern sowie die Betriebsleistung auf konsistente Prozesse zu überwachen. Zu den weiteren Merkmalen der ETCH- PE-100 gehören auswählbare Rezepte für verschiedene Ätz- und Aschestufen nach spezifischen Anforderungen, zellulärer Modus zum Anschluss mehrerer Verarbeitungseinheiten und ein kompletter Satz Verbrauchsartikel, um eine Hochleistungs-Wafer-Verarbeitung zu gewährleisten.
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