Gebraucht PLASMA ETCH PE-200 #293778285 zu verkaufen

PLASMA ETCH PE-200 ist eine Tischquelle, die einwandfreie Ätz- und Ascheanwendungen für eine Vielzahl von Materialien bietet. Dieses präzise Instrument verwendet eine Kombination aus elektrischer und Inertgasentladung, um eine konsistente Entfernung von Materialien mit minimaler Wärmebelastung und ohne thermischen Schock für empfindliche Substrate zu ermöglichen. Im Kern der PE-200 stehen drei unabhängige und ineinandergreifende Systeme - das Ätzmodul, das Pumpmodul und das Gasversorgungsmodul. Das Ätzmodul besteht aus einem Vakuumauslöseventil, einer Magnetronquelle, kundenspezifischen Induktoren zur Anpassung an die verschiedenen Betriebskonfigurationen und einer Niederspannungs-Plasmakammer zur gleichmäßigen Plasmaerzeugung. Kundenspezifische Induktoren ermöglichen eine effiziente Energieübertragung vom Magnetron zum Substrat und sorgen für konsistente Ätzraten. Das Pumpenmodul weist eine Turbomolekularpumpe mit einem Haltebehälter für das Gas, Luftschlösser und verschiedene Vakuummessgeräte auf. Dies hilft, die Integrität des Systems beim Wechseln oder Zugeben von Gas zu erhalten. Zusätzlich weist das Gasversorgungsmodul Absperrventile, Kollektor- und Trägergaszuführungen sowie Neutraldruckregler auf. Weitere Merkmale von PLASMA ETCH PE-200 umfassen hohe Ätzraten, schnelle Pumpenrückgänge und den Betrieb bei Raumtemperatur. Dadurch bietet das System kostengünstige Radierung pro Wafer mit Präzision und Wiederholbarkeit. Als solches kann es für Trockenätzen, Aschen und chemische Dampfabscheidung (CVD) Anwendungen auf einer Vielzahl von Materialien wie Silizium, Siliziumnitrid, Wolfram, Aluminium und anderen Metallen verwendet werden. Darüber hinaus verfügt PE-200 über ein integriertes Sicherheitsdesign mit Notabschaltkreis, eine automatische Druckregelung und Selbstleistungsprüfung. Dies hilft, Unfälle, Störungen und Ausfallzeiten zu minimieren. Es hat auch eine Film-Wiedergabe-Funktion, die verwendet werden kann, um den Operationsverlauf zu überprüfen, indem Sie den während des Prozesses gespeicherten Film wiedergeben. PLASMA ETCH PE-200 entspricht auch den SEMI S2 Standards, die eine sichere und konforme Betriebsumgebung für den Benutzer bieten. Insgesamt ist PE-200 eine fortschrittliche Tischquelle, die präzise Ätz- und Ascheanwendungen mit hervorragender Wiederholbarkeit und Zuverlässigkeit bietet. Seine starke Kombination aus Präzisionsätzen und Aschen mit schnellem und sicherem Betrieb machen dieses Werkzeug zu einer unschätzbaren Ergänzung für jedes F & E-Labor oder jede Produktionsstätte.