Gebraucht PLASMA ST 350 #293774484 zu verkaufen
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PLASMA ST 350 ist eine Hochleistungs-Ätz-/Ascher-Ausrüstung für fortschrittliche Halbleiterherstellungsprozesse. Diese hochmoderne Ausrüstung vereint Präzisionsätz- und Aschefähigkeiten, um den Anforderungen der Spitzenforschung und -entwicklung in der Halbleiterindustrie gerecht zu werden. Mit dem Fokus auf Prozesswiederholbarkeit, Gleichmäßigkeit und Zuverlässigkeit ist ST 350 ein vielseitiges Werkzeug für eine Vielzahl von Anwendungen, einschließlich Ätz-, Entkeimungs-, Stripp- und Reinigungsprozessen. Im Zentrum von PLASMA ST 350 steht das ausgeklügelte PLASMA-Erzeugungs- und Steuerungssystem. Das Gerät verfügt über einen Hochleistungs-HF-Generator, der ein stabiles PLASMA zur präzisen Materialabtragung und Oberflächenmodifizierung erzeugt. Diese fortschrittliche PLASMA-Quelle ermöglicht es der Maschine, hohe Ätzraten und einheitliche Ätzprofile über eine Vielzahl von Substratmaterialien zu erzielen, darunter Silizium, Siliziumdioxid, Nitride und Polymere. Die Werkzeugkammer besteht aus hochwertigen Materialien, um eine minimale Partikelverunreinigung und maximale Prozessreinheit zu gewährleisten. Die Kammer ist mit Gasfördersystemen ausgestattet, die eine präzise Steuerung von Prozessgasen und Durchflussraten ermöglichen und für jede Anwendung optimale Prozessbedingungen gewährleisten. Die Kammer verfügt auch über Temperaturregelungsfunktionen, um konsistente Prozessbedingungen aufrechtzuerhalten und Substratschäden bei Hochtemperaturprozessen zu vermeiden. ST 350 bietet eine Reihe von Ätz- und Ascherfunktionen, darunter reaktives Ionenätzen (RIE), PLASMA-Ätzen und Mikrowellen-PLASMA-Aschen. Diese Funktionen ermöglichen es Benutzern, eine präzise und kontrollierte Materialentfernung mit hoher Selektivität und minimaler Beschädigung des Substrats zu erreichen. Das Asset verfügt auch über ein automatisiertes Endpunkterkennungsmodell, das Echtzeit-Feedback zum Prozessverlauf liefert und eine präzise Kontrolle über Ätztiefen und Gleichmäßigkeit ermöglicht. Eines der Hauptmerkmale von PLASMA ST 350 ist die benutzerfreundliche Schnittstellen- und Softwaresteuerung. Das System ist mit einem Touchscreen-Monitor ausgestattet, mit dem der Bediener Prozessparameter einfach in Echtzeit überwachen und anpassen kann. Die Software-Steuereinheit bietet vorprogrammierte Rezepte für eine Vielzahl von Anwendungen sowie die Flexibilität, maßgeschneiderte Prozesse zu erstellen, die auf spezifische Forschungsbedürfnisse zugeschnitten sind. Zusätzlich zu seinen fortschrittlichen technischen Fähigkeiten ist ST 350 mit Blick auf Produktivität und Kosteneffizienz konzipiert. Die Maschine verfügt über ein Hochdurchsatzdesign, das eine schnelle Verarbeitung mehrerer Proben ermöglicht, Ausfallzeiten minimiert und die Produktivität maximiert. Das Werkzeug hat auch eine niedrige Betriebskosten, mit minimalen Verbrauchsteilen und einfachen Wartungsanforderungen. Insgesamt ist PLASMA ST 350 ein hochmodernes Etcher/Ascher-Asset, das fortschrittliche PLASMA-Verarbeitungsfunktionen für eine breite Palette von Halbleiteranwendungen bietet. Mit seiner Präzisionskontrolle, Zuverlässigkeit und Vielseitigkeit ist ST 350 ein wesentliches Werkzeug für Halbleiterhersteller, Forschungseinrichtungen und hochentwickelte Technologieentwicklungslabore, die an der Spitze der Halbleiterverarbeitungstechnologie bleiben möchten.
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