Gebraucht PLASMA SYSTEMS DES 212 #9123081 zu verkaufen
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PLASMA SYSTEMS DES 212 ist ein fortschrittlicher Ätzer und Ascher für den Labor- und Produktionseinsatz in einer Vielzahl von Branchen und Anwendungen. Der Ätzer und der Ascher verfügen über eine robuste Konstruktion, die für einen zuverlässigen Betrieb in einer Vielzahl rauer industrieller Umgebungen ausgelegt ist. Es ist hochkonfigurierbar und eignet sich für eine Vielzahl von Prozessen wie Ätzen, Aschen, Plasmareinigung und Abscheidung. PLASMA SYSTEMS DES-212 ist mit einem modularen und erweiterbaren Workstation-Layout für die individuelle Anpassung an jeden Prozess konzipiert. Plasmagenerator und Kammer sind mit einer Hauptkonsole mit zwei temperaturgesteuerten Komponenten verbunden. Die Temperatur kann für unterschiedliche Prozessanwendungen eingestellt werden. Eine Vielzahl von Prozessgasen kann verwendet werden, einschließlich SF6, CO2, O2, N2, Ar und andere. Das Gerät kann entweder im RIE- oder BVT-Modus (Batch-Prozess) betrieben werden. DES 212 unterstützt eine Vielzahl von Prozessvariablen und kann für spezifische Prozessanforderungen programmiert werden. Das System beinhaltet eine digitale Auslese- und computergesteuerte Datenerfassung zur verbesserten Prozesssteuerung und Prozessoptimierung. Die Embedded-Software ermöglicht die automatische Steuerung und Datenerfassung für eine präzisere Prozesssteuerung und weitere Optimierung. Das Gerät ist für eine präzise und wiederholbare Prozesssteuerung mit einer Vielzahl von Parametereinstellungen ausgelegt, einschließlich Spannungs- und Stromvorspannung, Plasma- und Ätzgasfluss, Prozesstemperatur, Druck, Feuchtigkeit, Ätz- und Reinigungszykluszeiten und mehr. Die Temperaturgleichförmigkeit der Arbeitskammer wird mit einer patentierten Reflow-Management-Maschine aufrechterhalten. Das Werkzeug ist auch mit einer eingebauten Sicherheitseinrichtung ausgestattet, mit einer Verriegelung zur Verhinderung der Gefährdung des Personals. DES-212 ist ideal für die Hochdurchsatz-Chargenverarbeitung und ist mit einer Vielzahl von Prozesskammern einschließlich ein- und mehrdimensionaler Prozessgefäße kompatibel. Es bietet eine breite Palette von Funktionen, die die herkömmliche Technologie verbessern, wie eine verbesserte Prozesssteuerung mit ausgeklügelter computergesteuerter Datenerfassung, verbesserte Prozessgleichförmigkeit mit Reflow-Management, einfache Bedienung mit intuitiven Bedienelementen der Benutzeroberfläche und erhöhte Sicherheit mit einem integrierten Interlock-Modell.
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