Gebraucht PLASMA-THERM VLR700G1 #9352047 zu verkaufen

PLASMA-THERM VLR700G1
ID: 9352047
Dry etcher.
PLASMA-THERM VLR700G1 Ätz- und Aschermaschinen bieten eine komplette, präzise Lösung für hochpräzise Ätz- und Ascheprozesse. Es bietet eine leistungsstarke, einkammerige Ätz- und Ascheplattform mit leistungsstarken, programmierbaren Pulsplasmaquellen. Das System wurde entwickelt, um die Gleichmäßigkeit in der gesamten Ätz-/Aschezone zu maximieren, mit einer Dual-Bake-Off-Technik, um Zeit und Kosten für Ätzen und Aschen zu reduzieren. Die Dual-Energie-Impulsquellen sorgen für schnelle Kantenprofilierung und schnelle Oberflächenreinigung. Die hochempfindlichen Steuerungssysteme ermöglichen eine präzise Leistungsabgabe und Steuerung aller Ätz-/Ascheparameter und ermöglichen wiederholbare, zuverlässige Ergebnisse. Die anpassbare Rezeptgenerierung innerhalb der Bordsoftware ermöglicht wiederholbare Prozesse und präzise Ergebnisse. Die Mehrkammer-HF-Stromversorgung im Gerät ermöglicht eine effiziente und reproduzierbare Ätz- oder Aschetiefe. Das hochpräzise Heizverfahren erzeugt auch eine gut kontrollierte und bekannte Diffusion innerhalb der Probe. Der ausgeklügelte Gasverteilungsprozess innerhalb der Plasmakammer sorgt zudem für reproduzierbare Ergebnisse sowie saubere Ätz- und Aschebedingungen. Die Maschine ist auch für eine optimierte Nutzung und Übersichtlichkeit der Prozessparameter ausgelegt. Die grafische Benutzeroberfläche ermöglicht eine einfache und intuitive Workflow-Konfiguration von der Rezepterstellung über die Substratvorbereitung bis hin zur Prozesssteuerung. Die Tools zur Datenerfassung und Prozessanalyse erstellen eine umfassende, konsistente Steuerungsplanung und -überwachung. Abschließend ist VLR700G1 Ätz- und Ascherwerkzeug mit verbesserter Prozesskontrolle und präzisen Ergebnissen eine ideale Lösung für moderne Ätz- und Aschebedürfnisse. Es bietet eine effiziente, wirtschaftliche und zuverlässige Lösung für Ätz- und Ascheprozesse.
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