Gebraucht PLASMATECH RIE-80 #9249711 zu verkaufen

PLASMATECH RIE-80 etcher/asher ist ein Plasma Enhanced Dry Etcher, der für eine Vielzahl von Anwendungen entwickelt wurde, die von der Entfernung von Metallschichten bis zur dielektrischen Passivierung und Abscheidung reichen. Die Geräte können für Halbleiterbauelemente, Optoelektronik, Kapillarätzen, dielektrische Packungen und viele andere Substrate verwendet werden. RIE-80 verwendet eine HF-Stromversorgung und eine indirekte Plasmaquelle, um eine energetische Plasmaumgebung zu schaffen, die hilft, die Ätzeigenschaften des Substrats zu verbessern und gleichzeitig den Verbrauch von Gas und Prozesszeit zu reduzieren. Das System besteht aus einer Lastschloßkammer, einer Vakuumkammer und einer Bearbeitungskammer. Die Lastschloßkammer dient als Pufferbereich, um vor Eintritt in die Bearbeitungskammer sauber, frei von Staubträgern zu gewährleisten. Die Vakuumkammer dient zur Aufrechterhaltung einer Niederdruckumgebung, die zufälligen Partikeln, die in das Plasma gelangen, widersteht. Die Bearbeitungskammer enthält den gesamten Ätzvorgang und ist mit einem 6-Achsen-Manipulator, der Stromversorgung und der HF-Plasmaquelle ausgestattet. Das Gerät ist mit einer HF-Stromversorgung von bis zu 2 kW und einer mit einem Wellenleiter verbundenen Dualfilamentinduktiv gekoppelten Plasmaquelle ausgestattet. Die Massepotential-Leiterplatte sorgt für eine perfekte elektrische Verbindung mit der HF-Quelle. PLASMATECH RIE-80 Ätzer/Ascher bietet eine präzise Steuerung des Ätzprozesses. Der Leistungspegel und der Zeitpunkt werden manuell eingestellt, und die Maschine ist in der Lage, einen festgelegten Prozess für jedes Substrat zu halten, um manuelle Eingriffe zu minimieren. Benutzer sind auch in der Lage, den Prozess in Echtzeit zu überwachen, einschließlich Druck, Temperatur und Prozesszeit. Das Werkzeug bietet eine hervorragende Auflösung mit einer typischen Auflösung von 0,1 µm und eignet sich somit für hochpräzise Arbeiten. Insgesamt ist RIE-80 ein effizientes und zuverlässiges Ätz-/Aschegut, das für viele Anwendungen geeignet ist. Es bietet eine ausgezeichnete Kontrolle über den Ätzprozess und die Fähigkeit, den Prozess in Echtzeit zu überwachen. Seine hohe Auflösung macht es für hohe Genauigkeit Arbeit geeignet und sein Gasverbrauch ist niedriger als andere Systeme. Das Modell ist für eine einfache Wartung ausgelegt, was eine lange Lebensdauer gewährleistet.