Gebraucht PLASMATHERM 700 VLR (Versalock) #9123991 zu verkaufen

PLASMATHERM 700 VLR (Versalock) ist ein Hochleistungs-Plasmaätzer für eine Vielzahl von Halbleiteranwendungen und -materialien, einschließlich Metallen und Dielektrika. Es ist in der Lage, Bereiche bis zu 350 μ m für anspruchsvolle Geräteproduktion zu ätzen. Die Versalock-Ausrüstung verwendet einen Vakuum- und Gasdruckmechanismus, der genau auf die für den Prozess erforderlichen Parameter abgestimmt werden kann. PLASMATHERM 700 VLR verfügt über eine proprietäre PCX-Prozesskammer mit optimiertem Gasstromregelsystem. Diese Einheit bietet eine überlegene Ätzgleichmäßigkeit gegenüber konventionelleren Plasmaätzsystemen. Der Versalock bietet auch eine automatische Echtzeit-Steuerung der Ätztemperatur, Zeilenumbruchkompensation, Spannungsausgangsanpassung und eine patentierte Plug-and-Play-Gaseinspritzmaschine. Dieses Tool erspart externe Durchflussregler und sperrt die Durchflussraten sofort. PLASMATHERM 700 VLR verfügt zudem über eine automatisierte Heiz- und Kühleinrichtung, die die Eigenschaften gasgekühlter, nicht thermisch bildgebender Platten nutzt. Auf diese Weise konnte das Modell die Ätzrate sowohl der einstufigen als auch der mehrstufigen Chipkonstruktionen genau steuern. Der Versalock eignet sich besonders für kleine Merkmalsätzungen von Strukturen mit hohem Seitenverhältnis ohne Kantenrundung oder Seitenwandverjüngung. Die Ausrüstung ist auch in der Lage, Kanäle von 200nm bis 500nm mit geringer Rauhigkeit und vertikalen Seitenwänden zu produzieren. Es kann sowohl für Single-Sobek- als auch Kaskadenätzkonzepte verwendet werden. Der Versalock verfügt auch über ein eingebautes Ladungsneutralisationssystem, das Verunreinigungsansammlungen in der Kammer während des Ätzvorgangs eliminiert. PLASMATHERM 700 VLR hat eine Vielzahl von Sicherheitsmerkmalen wie Überspannungsschutz, Überstromschutz, Kammerdruckregelung und 3D-Verriegelung. Die Eindämmungsdeckeleinheit verbessert die Sicherheit weiter, indem gefährliche Reaktionen während des Betriebs der Maschine verhindert werden. Der Versalock verfügt auch über eine einfach zu bedienende grafische Benutzeroberfläche, die es dem Bediener ermöglicht, die Parameter des Ätzprozesses einfach anzupassen. Abschließend ist PLASMATHERM 700 VLR (Versalock) ein fortschrittliches Ätzwerkzeug, das für eine Vielzahl von Anwendungen und Materialien entwickelt wurde. Es verfügt über eine einfach zu bedienende grafische Benutzeroberfläche, eine patentierte Plug-and-Play-Gaseinspritzung und ein automatisiertes Heiz- und Kühlmodell. Mit seinen Sicherheitsmerkmalen und präzisen Ätzfunktionen ist der Versalock eine ideale Lösung für eine Vielzahl anspruchsvoller Halbleiteranwendungen.