Gebraucht PLASMATHERM 700 VLR (Versalock) #9293223 zu verkaufen
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ID: 9293223
Weinlese: 1997
PECVD system
LM/TM module
(2) RIE Modules
(5) MKS Mass Flow Controllers
RFPP-RF5S RF Power supply
LEYBOLD Dryvac 50P
208V, 60Hz, 3 Phase
1997 vintage.
PLASMATHERM 700 VLR (Versalock) ist ein robuster und zuverlässiger Ätzer/Ascher für die hochpräzise Verarbeitung in der Halbleiterindustrie. Es ist mit der neuesten Technologie ausgestattet, wie mehrfache Temperaturregelung, um wiederholbare, rückverfolgbare Prozesse zu garantieren, die überlegene Ergebnisse erzielen. Der Ätzer/Ascher verfügt über fünf unabhängige Temperaturzonen mit jeweils eigener, unabhängiger digitaler Steuerung. Dies gewährleistet eine genaue Temperaturregelung und präzise thermische Eigenschaften am Mikrostrukturhorizont. PLASMATHERM 700 VLR verfügt zudem über einen leistungsstarken magnetisch betätigten Verriegelungsmechanismus. Dadurch wird sichergestellt, dass das Beladesystem und die Prozesskammer sicher verriegelt bleiben, so dass ein sicherer und stabiler Betrieb möglich ist. Die Versalock-Funktion bietet auch einen zuverlässigen und wiederholbaren Prozess ohne manuelles Zurücksetzen oder Anpassen. PLASMATHERM 700 VLR verwendet eine zweistufige mechanische Pumpe, um die Verarbeitung mit geringer Ableitung und geringer Turbulenz zu ermöglichen. Die extrem niedrigen Verbrauchsbedingungen reduzieren sowohl die Ätz- als auch die Materialkosten und ermöglichen eine verbesserte Kosteneffizienz. Hinsichtlich der Sicherheit wurde PLASMATHERM 700 VLR sowohl mit einer mechanischen Verriegelung als auch mit einer Prozessdichtung ausgestattet. Letzteres ermöglicht es dem Bediener, sicher hinter verschlossenen Türen zu arbeiten und so ein sicheres Umfeld für sein Personal zu schaffen. PLASMATHERM 700 VLR verfügt zudem über ein benutzerfreundliches grafisches Schnittstellensystem, mit dem Bediener den Ätzfortschritt überwachen und steuern können. Mit einer Vielzahl von voreingestellten Rezepten kann der Benutzer mehrere Ätzprozesse ohne manuellen Eingriff durchführen. Insgesamt machen die fortschrittliche Technologie, das robuste Design und die benutzerfreundliche Schnittstelle PLASMATHERM 700 VLR zu einer ausgezeichneten Wahl für Halbleiterätzen und -veraschen. Dieser Ätzer/Ascher bietet eine verbesserte Produktivität, Zuverlässigkeit und minimale Verbrauchskosten.
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