Gebraucht PLASMATHERM 7300PE #9042738 zu verkaufen
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ID: 9042738
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1996
PECVD System, 8"
Includes:
Main frame
Transformer
Power supply
M-405-V-AC Unit
(4) Cartons
1996 vintage.
PLASMATHERM 7300PE ist ein fortschrittliches Ätz-/Aschesystem für den Industrie- und Forschungsmarkt. Das Gerät verfügt über programmierbare Temperaturbereiche (450-600 ° C) und eine unabhängige Infrarot- und Mikrowellenheizung, die eine präzise Steuerung der Probenverarbeitungsparameter ermöglicht. Zusätzlich werden Verteilerheizungsteil und HF-Generator für optimale Quellleistung und Betriebsdruckniveauwaage unabhängig angetrieben. Das System eignet sich zum Ätzen/Aschen einer Reihe von Materialien wie Silizium, Galliumarsenid und diamantähnlichen Kohlenstoffbeschichtungen (DLC). Es nutzt die UPEC-Technologie (Universal Parallel Etch Control), um optimale Ätzraten und Wiederholbarkeit zu ermöglichen. Diese Technologie verfolgt die Ätzrate während des Prozesses und steuert den Chemiefluss entsprechend für konsistente Ergebnisse. 7300PE ist mit verschiedenen Sicherheitsmerkmalen ausgestattet, einschließlich automatischer Verteilerabsperrventile, motorisierter Quellenabschalter und Sauerstoffmonitore. Die digitalen Bedienelemente sind benutzerfreundlich und ermöglichen Fernbedienung und unbeaufsichtigtes Ätzen. Darüber hinaus ermöglicht ein Data Harvesting Program Benutzern die Überwachung von chemischen Durchflussraten, Temperaturen, Drücken und anderen Prozessparametern. PLASMATHERM 7300PE kombiniert hohe Transferätzraten mit zuverlässiger Prozesssteuerung und ist damit eine ideale Lösung für Industrie- und Forschungsanwendungen. Das Gerät ist so konzipiert, dass es einfach zu installieren, zu bedienen und zu warten ist. Darüber hinaus macht seine korrosionsbeständige Konstruktion es robust, langlebig und für raue Umgebungen geeignet. Dank seiner fortschrittlichen Eigenschaften und seiner hervorragenden Leistung ist es die perfekte Wahl für präzises, hochzuverlässiges Ätzen/Aschen.
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