Gebraucht PLASMATHERM 740 #194698 zu verkaufen

PLASMATHERM 740 ist ein hochmoderner Ätzer/Ascher mit hohem Durchsatz und kostengünstiger Waferbearbeitung. Das Gerät ist mit einer hocheffizienten Niederdruck-Plasmaquelle sowie einem proprietären Drei-Axispositionierer, Dual-Puls-Wafer-Handling und einer Reihe von Prozessmerkmalen zur Erzielung überlegener Ätzgleichmäßigkeit, hoher Strahldichte und hoher Seitenverhältnisse mit präziser Ausrichtung über eine große fehlerfreie Oberfläche ausgestattet. 740 verfügt über ein anpassbares Prozess-Toolset, um die Verarbeitung für verschiedene Anwendungen wie Trockenätzen, Aschen, Beschichten, Drucken und Strippen anzupassen. Durch die Kombination branchenführender Prozessgenauigkeit mit kostengünstiger Batch-Verarbeitung ist PLASMATHERM 740 ideal für Serienumgebungen in hohen Stückzahlen. Mit patentierten Verfahren zur Optimierung des Plasmaprozesses auf mehreren Ebenen und zur Gleichmäßigkeitskontrolle erzielt das System qualitativ hochwertige Ergebnisse sowohl mit flachen Trenchisolierungsprozessen als auch mit mittleren und tiefen dimensionalen Strukturen. Die Hochleistungs-Plasmaquelle in 740 ist in der Lage, Impulse mit unterschiedlichen Energien, Durchflussraten und Pulsdauern zu erzeugen, um eine optimale Ätzleistung zu gewährleisten. Zusätzlich kann eine Dual-Puls-Steuerungstechnik verwendet werden, um die Prozesszeit zu reduzieren und energiereiche und energiereiche Bereiche innerhalb der Waferoberfläche zu eliminieren. Die Pulse Delay Knowledge Unit sorgt für symmetrische und gleichmäßige Vorwärtsimpulsverzögerungen für eine höhere Präzision. Darüber hinaus verfügt die Maschine über einen 3-achsigen Roboterpositionierer mit einer maximalen Geschwindigkeit von 624 bpm. Der Positionierer sorgt für eine präzise Ausrichtung und Bewegung des Wafers während des gesamten bildgebenden Prozesses. Es bietet auch 12 Power-Level-Steuerschritte und eine verstellbare Wafer-Neigung für optimierte Abdeckung. PLASMATHERM 740 verfügt über eine benutzerfreundliche und intuitive Windows-basierte Benutzeroberfläche und bietet Fernzugriff für erweiterte Unterstützung. Mit einer Plattform für Hard- und Software, die Produktivität und Verfügbarkeit steigert, ist das Tool die perfekte Lösung für jede Waferbearbeitungsanwendung.