Gebraucht PLASMATHERM 770 ICP #9124019 zu verkaufen
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ID: 9124019
Weinlese: 2001
Ion coupled plasma etcher
Load lock shuttle lock transfer
Single chamber ICP
Watlow heater
Power supply: RFPP – RF5S & 20M
Electrode: 8.31”
Electrostatic chuck: 6"
(6) MKS MFCs-(O2, N2, Cl2, BCl3,Ar,spare)
VAT PM-5
He backside cooling
Neslab 75W
Turbo pump
Leybold D16B
Leybold D40BCS
Plasmatherm windows OS
2001 vintage.
PLASMATHERM 770 ICP ist eine Ätz-/Aschemaschine für Hochgeschwindigkeits- und Hochpräzisionsbearbeitung. Es ist ein kompaktes System, das ideal für eine Vielzahl von Anwendungen ist, einschließlich Oberflächenätzen, anisotropes Ätzen von dielektrischen Schichten und rückseitiges Ätzen von Leiterplattenschichten. Das Gerät eignet sich besonders für Rapid Prototyping, da es minimale Rüstzeiten benötigt und leicht auf große Materialmengen skaliert werden kann. 770 ICP verfügt über eine induktiv gekoppelte Plasmaquelle (ICP), die ein hochdichtes Plasma erzeugt, das für hochpräzise Ätzanwendungen wesentlich ist. Das Plasma wird im Reinraum der Vakuumklasse 10 erzeugt und zur optimierten Gleichmäßigkeit auf die Ätzkammer beschränkt. Die Maschine verfügt auch über zwei unabhängige Gasverteilungssysteme für verbesserte Prozessvielfalt und Steuerung. Der Ätzprozess wird über eine benutzerfreundliche grafische Oberfläche gesteuert, mit der Benutzer mit Leichtigkeit und Präzision Ätzbedingungen festlegen können. Das Werkzeug verfügt über eine 7-Zoll-Ätzkammer, die von der Seite aus zugänglich ist und einen Drehkopf aufweist, der sich bis zu 200 °/s dreht. Dies ermöglicht es, beide Seiten von Leiterplatten zu ätzen und schafft eine optimale Gleichmäßigkeit über die gesamte Leiterplatte. Der Drehkopf wird beim Ätzen temperaturstabilisiert, um Genauigkeit und Präzision zu gewährleisten. Die Anlage ist in der Lage, Materialien unterschiedlicher Dicke zu ätzen, und kann mit Geschwindigkeiten bis zu 30mm/min ätzen. PLASMATHERM 770 ICP verfügt zudem über ein integriertes Nebelfiltrationsmodell, das Ätzprozessrückstände für verbesserte Sauberkeit erfasst. Das Gerät beinhaltet auch eine selbstreinigende Funktion, die die Düse und andere Komponenten automatisch reinigt, um eine konstante Leistung während langer Laufzeiten zu erhalten. Das System ist auf maximale Sicherheit und Energieeffizienz ausgelegt und verfügt über mehrere Sicherheitsvorrichtungen zum Schutz der Benutzer und der Umwelt. Das Gerät verfügt auch über eine mehrsprachige Benutzeroberfläche, die es einfach für Benutzer verschiedener Nationalitäten zu bedienen macht. 770 ICP ist eine vielseitige Ätz- und Aschemaschine, die Präzision, Leistung und Geschwindigkeit für eine Vielzahl von Anwendungen kombiniert. Dieses Werkzeug ist die perfekte Lösung zum Ätzen und Aschen von Leiterplatten, Halbleitern und anderen Materialien.
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