Gebraucht PLASMATHERM 770 ICP #9156681 zu verkaufen

PLASMATHERM 770 ICP ist eine fortschrittliche Ätz- und Ascheausrüstung von PLASMATHERM. Es bietet eine überlegene Ätz- und Ascheleistung und umfasst eine Reihe von Funktionen, die eine gleichmäßige Präzision und Zuverlässigkeit gewährleisten. Das System verfügt über eine fortschrittliche elektrische Energiequelle mit hoher Ionisationsdichte, gleichmäßigen Ätzprofilen und erhöhter Prozessstabilität. Die schnelle Schaltstromquelle bietet Flexibilität bei verschiedenen Kapazitäten und Pulslängen. Dies ermöglicht eine Optimierung der Ätzrate für einen vorgegebenen Prozess. Es ermöglicht auch die Einstellung der Ausgangsleistung für jeden Ätzvorgang, um das beste Prozeßprofil und Wiederholbarkeit für die gesamte Charge zu erreichen. 770 ICP enthält auch eine einzigartige integrierte Zwei-Zonen Keramik gefütterte Kammer, die zum Ätzen und Aschen in einer Einheit ermöglicht. Die Prozessgaskammer wird mit Stickstoff, Sauerstoff und anderen reaktiven Gasen betrieben, die ein Ätzen und Aschen verschiedener Materialien ermöglichen. Das integrierte offene Lastschloss sorgt für einfaches Be- und Entladen von Wafern ohne zusätzliche Verschmutzung. Zum Beladen der Proben können die Lastschlösser von beiden Seiten der Kammer leicht zugänglich sein. Das Gerät verfügt über erweiterte Steuerungen, die eine präzise Prozessüberwachung und automatische thermische Steuerung ermöglichen. Eine hochsensitive thermoelektrische Temperatursonde misst die Wafertemperatur während der Plasmabearbeitung. Die Gleichmäßigkeit des Verfahrens wird durch das Infrarotpyrometer weiter überwacht. Die Software umfasst auch eine rezeptgesteuerte Benutzeroberfläche, die eine einfache Auswahl von Prozessparametern ermöglicht. Die intuitive GUI bringt selbsterklärende Prozesssteuerung für den Anwender. Es enthält benutzerfreundliche, grafische und Textstatusanzeigen, um den Bediener durch den Einrichtungs- und Rezeptauswahlprozess zu führen. Es bietet automatische Sicherheitswarnungen und kommuniziert übersichtlich Verarbeitungsfehler. PLASMATHERM 770 ICP ist die ideale Maschine zum Ätzen und Aschen und bietet überlegene Zuverlässigkeit und Genauigkeit. Die integrierten Hardware- und Softwarefunktionen sorgen dafür, dass jeder Prozess in höchster Qualität und Wiederholbarkeit durchgeführt werden kann.